使用硬件扫描三维模块化系统来自剑桥科技的设计用于扫描应用，需要出众的3D处理速度，精度和大视场在一个紧凑的配置和工业标准接口。
集成的三轴系统应用灵活，这得益于高功率激光处理能力、衍射有限的光斑尺寸、可编程性和剑桥后物镜扫描(三轴)技术的可配置性。
3轴激光加工头集成了剑桥的专利模拟和数字Galvo技术，为工业中复杂激光加工应用提供了潜在的扫描解决方案。
所需的场大小和光斑大小可以通过第三轴动态聚焦模块(DFM)来实现。该系统可在不同的配置，如355nm, 532nm, CO2和纤维(掺钕钇铝石榴石)。
关键特性
三轴扫描系统的主要特点如下:
- 得益于三轴扫描技术，不需要扫描镜头
- 目前可用的标准镜面孔径包括20mm、30mm和50mm
- 第三轴动态聚焦模块(DFM)允许选择场大小
- 优化衍射有限的光斑大小
- CO在100mm和1200mm之间的可变方形场尺寸2和掺钕钇铝石榴石
- 可在ProSeries IITM -模拟和闪电IITM -数字扫描技术的准确性和速度
- 可用的配件包括对准装置和保护窗户