CCS CRIUS®AIXTRON的II-L是一种高通量反应器，以低成本提供高性能。过程周期更少的时间，这确保了高的过程产量。
该系统便于连续生产，无需内部烘烤和动态间隙调整。它可在不同的尺寸范围- 69x2, 16x4, 7x6，和3x8英寸，每个允许无缝放大过程。该系统还可用于分析晶圆片的曲率、表面温度和生长速率。
关键特性
CRIUS的主要特点®II-L型反应器如下:
- ARGUS现场温度控制
- 快速传感器处理功能
- 连续生产，无需内部烘烤
- 无缝的扩大过程
- 缩短工艺周期时间
- 可提供各种尺寸:69x2, 16x4, 7x6, 3x8英寸
- 增长速度快，压力大
- 零粒子生成
- 高生产率和高绩效
- 减少维修