ZYGO的Nexview™3D光学表面轮廓仪

Nexview™3D光学表面轮廓仪从Zygo可以测量几乎任何表面的地形,从光滑到粗糙,亚纳米精度,独立于视野。

测量类型包括粗糙度、平整度、陡坡、薄膜、大台阶和高度从< 1nm到20000µm的表面形貌。

Nexview™轮廓仪可以测量具有亚埃表面粗糙度的超抛光光学表面,加工角度可高达85度。它提供了其他分析技术的最佳质量,如聚焦扫描,手写笔和共聚焦,而没有它们的缺点。用户不再需要根据他们想要测量的表面类型来选择分析器。

Nexview™剖面仪还使用了全新的Mx™软件,提供系统控制和数据分析,如定量地形信息、丰富的交互式3D地图、直观的测量导航、通过/失败限制、控制图表和内置的SPC统计数据。

关键特性

Nexview™3D光学表面轮廓仪的主要功能包括:

  • 流线型的设计
  • 自动操作
  • 不妥协的剖析
  • 三维非接触式测量
  • 振动公差技术
  • 计能力表现
  • 全新的分析和控制软件
  • 直观的用户界面
  • ISO 25178表面测量参数
  • 所有新的图形工作流软件

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