的XE15原子力显微镜Park Systems提供了一些独特的功能，使其适合于研究人员进行多变体实验，共享实验室处理广泛的样品，以及工作在晶圆上的故障分析工程师。
XE15坚固耐用，功能多样，性价比高。它有能力成像和确定多个样品在一个单一的通过。用户可以很容易地用他们的样本加载舞台并执行扫描过程。这一特性也使他们能够在相似的环境条件下扫描样本，从而提高数据的可靠性和准确性。
与大多数AFM仪器相比，XE15 AFM可以扫描高达200mm × 200mm的大尺寸样品，并提供更高的分辨率成像。此外，该系统具有一个多样品夹头，该设计独特，可加载多达16个单独的样品。
关键特性
XE15原子力显微镜的主要特点是:
- 一次完成多个样品的自动成像
- 独特的MultiSample™扫描
- 真正的非接触式™模式
- 高分辨率成像
- 多样品夹头，可装载多达16个样品
- 全电动XY样品台
- 双独立，闭环XY和Z挠性扫描仪
- 精确的高度测量
- 减少样品干扰，更精确的扫描
- 广泛的模式和选项可供选择