来自Bruker的Dektak XTL - 用于晶圆生产的大型示例手写笔分析系统

可从Bruker提供的Dektak XTL手写笔分析器可容纳350mm x 350mm的样品,使可着名的Dektak再现性和面板和大幅晶片制造的可重复性。

Dektak XTL紧凑,包括一个完全封闭的工作站,带易于接触的互锁门。这些功能使系统适用于当今的挑战性生产楼层环境。此外,其双摄像机架构允许改善的空间意识,其高度自动化提高了生产吞吐量。

可以扩展独特的Vision64生产界面,以满足特定的应用需求,并呈现数据采集,直观和可重复的过程,降低运营商到操作员的可变性。Dektak XTL是该行业最容易使用手写笔分析器。

主要特点

Dektak XTL Stylus Profiler系统的主要特点是:

  • 小足迹
  • 便于使用
  • 强大的自动化设置和操作
  • 双摄像机控制
  • 轻松分析和数据收集
  • 无与伦比的手写笔技术
  • Vision64软件
  • 大型应用程序的关键结果

应用程序

Dektak XTL Stylus Profiler系统的应用是:

  • 晶圆应用:蚀刻速率测定,化学机械抛光等
  • 大型基板应用:PCB,晶片面罩,窗涂层,抛光垫
  • 玻璃基板和显示器应用:Amoleds,太阳能涂层的薄膜测量,触摸面板的薄膜厚度测量
  • 灵活的电子薄膜:有机光电探测器,有机薄膜印在玻璃/薄膜上,触摸屏的铜痕迹

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