用于半导体和光伏研究的SRP-2100研发工具

Semilab已经开发了研究和开发工具,用于半导体、材料科学和光伏研究的广泛应用。亚博老虎机网登录SRP-2100型是一种提供一系列测量参数的系统,例如掺杂剂浓度和电阻率、载流子、电阻率和掺杂剂形状、氧化物厚度、片电阻、剖面形状、过渡宽度、结深度、电激活剂量以及砷化镓和其他化合物半导体。

通过SRP-2100,用户可以探索硅器件的完整电阻率分布或载流子密度。设计师可以检查他们的模型如何表示实际制造的设备;工艺工程师可以对所有硅掺杂操作进行故障排除,包括离子注入、外延和扩散;提高成品率的工程师可以执行制造工艺,进行无故障的故障分析。

附加功能

SRP-2100的其他功能包括:

  • 浅层测量(SLM)
  • 斜角测量(BAM)
  • 可变探头间距(VPS)
  • 用于宽带隙半导体的PCIV选项
  • 信号塔
  • 独立斜面样品抛光装置

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