Semilab提供独特的模块化光学平台，SE-2000，其中包括具有旋转补偿器光学器件的光谱椭圆仪。它在基板，单层和多层样品上执行非破坏性和非接触光学测量以获得单独的薄膜厚度和光学性质。
主要特点
SE-2000的主要特点是:
- 该系统具有稳健，多功能和模块化的设计，并使样品从简单的单层厚度研究样品，以更具挑战性的应用，例如使用穆勒矩阵结合偏振物，散射测定法和椭圆形测定的应用。
- 它具有创新的独立臂角度选择和小点尺寸。
- SE-2000提供从深紫外线（193nm）的宽光谱范围，上IR（25μm）具有可选的FTIR椭圆销，在与可见臂上的同一测筒子上唯一地提供。
- 它可以使用光谱仪和检测器阵列配置快速检测模式，或者使用光谱仪和单点检测器的高分辨率，或者在单个工具中使用两种模式。
- SE-2000包括Semilab的具有可互换组件的新型智能电子设备，并与新一代操作和分析软件（SAM / SEA）进行操作。
- 该系统可以通过LAN网络或通过新的触摸面板接口从PC或笔记本电脑控制。
测量模式
测量模式包括以下内容：
- 用于薄膜厚度和光学功能的光谱椭圆形，包括复杂的多层结构
- 各向异性材料的广义椭圆形测量亚博网站下载
- 用于透明基板的传输椭圆图案
- 散射测定法与波长和入射角
- 穆勒基质（11或16元件）与3D各向异性材料的散射测定法组合唯一提供亚博网站下载
- 琼斯矩阵用于简单的各向异性材料亚博网站下载
- 反射率和透过率与波长和入射角
- 偏振光
- 波罗斯莫特里：薄膜孔径和孔隙度的测量
- 在沉积或蚀刻过程期间实时控制的原位测量模式
应用程序
SE-2000在以下内容中找到应用程序：
- 光子学 - LED，Optronics：Algan，GaN，INP等，反射涂层，ARC，III-V器件（EEL，VCSEL，ECL），MEMS和溶胶/多孔涂层
- 光伏 - 膜和硅太阳能电池，纳米结构电池，透明导电氧化物，纳米仪，纳米线，CNT
- 有机物 - OLED，OPV，传感器，OTFT
- 半导体 - 高k，氧化物，氮化物氧化物，低k，互连，光刻粘膜，外延层：SOI，SiGe，紧张Si，SiC，Poly
- 平板显示器 - TFT-LCD，LTP，IGZO，OLED，电致变色层
- 一般 - 铁电材料（BST，SBT，PZT），燃亚博网站下载料电池，SOFC，多孔电极，石墨烯，3D材料，周期性结构