这Permorma 300i晶圆测量系统由MTI仪器提供的是一种手动，非接触式测量系统，用于测量直径高达300mm的晶片，用于厚度和总厚度变化（TTV）。该系统是便携式，快速，精确，可靠的，易于设置。
Proforma 300i在整个晶片制造过程中的重要点提供精确的非接触式测量。该系统可以测量包括镓 - 砷化物，硅和铟 - 磷化铟的所有晶片材料亚博网站下载，而无需重新校准。
主要特征
Proforma系列的主要功能是：
- 专有电容电路，具有出色的精度和可靠性
- 非接触式测量
- 易于设置和操作
- 低成本的高性能
- 直径76-300mm晶圆范围
- +/-0.25μm精度
- 前USB端口允许简单的数据存储到闪存驱动器
- RS-232和以太网输出端口到PC
- 打印机的并行端口
- 测量不同的材料，如SI，GE，INP和亚博网站下载GAAS，无需重新校准。
- 可以定制以获得最大的传感范围或从目标的最大脱扣
应用程序
Proforma系列的应用是：