这三亚克斯电子束蒸发系统包括一个304个不锈钢圆柱室，典型的尺寸范围为18或24英寸，并缩放以匹配特定应用。泵送是低温或涡轮分子。负载锁涉及自动或手动转移以及高真空抽水。它可以容纳多种形状和尺寸的小样品。基于PLC/PC的过程自动化是通过图形用户界面，数据记录，食谱控制和远程电子支持完成的。
主要特点
的关键特征蒸发系统是：
- 原位监测和控制：石英晶体监测，光学监测，残留气体分析仪和其他原位测量和过程控制
- 基板固定装置：单，多，行星或自定义基板灯具
- 基材持有人：加热，冷却或有偏见，旋转的基板支架
- 离子来源：底物预先清洁辅助沉积，表面的纳米尺度修饰
- 三轴沉积技术：电子束蒸发，热蒸发，OLED/PELED的有机蒸发和有机电子，阴极弧等离子体沉积