这个三轴溅射系统是由工程人才在半核心，一家位于硅谷的制造商。它为光学、电子、太阳能、汽车、医疗、航空航天、军事和其他高科技行业使用的一系列混合基材和材料提供一系列精确涂层。这个亚博网站下载三轴溅射系统是首款针对精确研发和小批量生产的经济高效的开放式平台设计。它提供自定义格式和许多标准选项。
主要特征
该计划的主要特点三轴溅射系统是：
- 真空室-304不锈钢圆柱形室，典型尺寸范围为18或24英寸直径-按比例缩放以匹配特定应用
- 泵送-涡轮分子或低温
- 负载锁定-手动或自动转换，高真空泵送。可容纳各种形状和尺寸的小样品或直径不超过200 mm的单一基板。
- 过程控制-基于PC/PLC的过程自动化，具有图形用户界面、配方控制、数据记录和远程电子支持
- 现场监测和控制-石英晶体监测、光学监测、残余气体分析仪和其他现场测量和过程控制
- 基板固定装置-单个、多个、行星或定制基板固定装置
- 基板支架-加热、冷却或偏置、旋转基板支架
- 离子源：基板预清洗辅助沉积，表面纳米级改性
- 三轴沉积技术-磁控溅射、射频、直流或脉冲直流、电子束蒸发、热蒸发、OLED/PLED和有机电子学用有机蒸发、掠角沉积（GLAD）、阴极弧等离子体沉积、脉冲激光沉积（PLD）