SC3500半多的蒸发系统

这SC3500蒸发系统从半多由不锈钢制成，是一个水冷却的工艺室，带有秋千前通道门。高度为60英寸，直径为40英寸。它包括一个低温高真空包装。

主要特征

的关键特征SC3500蒸发系统是：

• 具有配方控制和数据记录的集成沉积率或过程控制器
• 具有多口袋电子束蒸发源用于顺序或共蒸发
• 包括一个离子束辅助沉积（IBAD）和底物预洗的离子源
• 定制或标准的基板固定装置，可能是旋转/倾斜支架，光学行星，升降圆顶或任何其他
• 包括最高450°C的IR基板加热器阵列