内联沉积系统 - Dynavac的大型交钥匙薄膜生产

超过30年,Dynavac一直为大规模生产薄膜提供交钥匙设备解决方案。app亚博体育

Dynavac设app亚博体育备安装在世界各地的制造设施中,又一年地产生一致的结果。系统范围为0.75米至2.5米,可以设计用于平坦的或形成的零件,具有显着深度。

真空室是模块化的设计,可在制造过程中提供灵活性,并适应未来的升级。app亚博体育在Dynavac的美国设施中设计,构建和测试设备。

主要特征

  • 溅射,蒸发或PECVD工艺
  • 广泛的预先和沉积过程
  • 装载锁和自动运输系统
  • 用于装载和卸载的基板的机器人处理
  • 完全自动化生产序列的集成控制系统
  • 全局安装和启动支持服务

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