薄膜沉积的光学监测系统-Dynavac Spectrum -Pro

Dynavac的Spectrum-Pro光学监测系统是生产具有高度准确性的复杂涂料的宝贵工具。将其能力与石英晶体沉积控制器的强度相结合，为光涂层的终点检测提供了新的水平。当集成到Dynavac控制系统中时，Spectrum Pro为完整的过程和系统控制提供了单个用户界面。

主要特征

• 容易集成到现有的涂料系统中
• 能够反射，传输或直接监视
• 可以针对任何波长或真空室配置定制光学器件
• 高级光学端点检测允许完整，分数和绝对层终止
• 食谱可以直接从所有主要涂料设计包中下载
• 可用多个选项和升级