的奥德赛450沉积系统来自Dynavac的大型精密系统提供了具有优秀质量结果的小规模薄膜生产。所述基础系统包括泵送系统、真空室和自动化控制系统。
一个全面的选项包提供了广泛的工艺设备，以支持最具挑战性的应用。app亚博体育奥德赛是Dynavac完整资源平台的一部分，支持客户从初始到日常运营。
关键特性
奥德赛450沉积系统的主要特点是:
- 是否配有一个450 × 650毫米的真空室
- 有涡轮泵或低温泵吗
- 广泛的溅射，蒸发和工艺支持选项
- 单旋转工装或行星机构
- Dynavac基于labview的监控系统
- 光学监控
- 灵活的设计支持为未来的应用程序重新设计工具
- 全球支持和服务