的SmartSE是HORIBA的相位调制光谱椭偏仪。它利用液晶技术对入射和反射光束的偏振进行调制和分析。椭偏仪头安装在一个角度计与手动可变入射角和CCD相机用于信号采集允许快速测量。
SmartSE的波长覆盖范围从450到1000纳米，光谱分辨率为3纳米。它还具有7个计算机控制的微点和独特的视觉系统，以改善可视化的斑点上的样品，甚至吸收一个。其应用领域包括半导体、平板显示、光伏器件、功能涂料和生物化学。
规范
智能SE光谱椭偏仪规格如下表所示:
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| 波长范围 |
450至1000 nm |
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| 光源 |
结合卤素和蓝色LED |
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| 测量时间 |
1秒到10秒 |
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| 精度 |
空气测量:Y = 45°±0.05°;D = 0°±0.2° |
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| 入射角 |
45°-90°步进5° |
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