这AutoSE来自Horiba Scientific的相位调节光谱椭圆仪。它采用液晶技术调节和分析入射和反射光束的极化。椭圆形磁头安装在具有固定的70°入射角的测角仪上，并且CCD相机用于信号采集，允许快速测量。自动阶段有助于在样本的表面上执行多次测量。
Autole提供从450到1000nm的波长覆盖，光谱分辨率为1.5nm。它还具有8个计算机控制的微门和独特的视觉系统，用于改进样品上的现场可视化，甚至吸收一个。各种应用领域包括半导体，平板显示器，光伏器件，功能涂层和生物化学。
规格
Auto SE简单薄膜测量光谱椭圆仪的规格如下表所示：
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| 波长范围 |
450至1000 nm |
| 测量时间 |
1秒 |
| 精度 |
NIST 100 NM D +/- 4A，N（632.8nm）+/- 0.002 |
| 入射角 |
固定在70度（也是66和61.5） |