的Uvisel +为先进的薄膜、表面和界面表征提供模块化和性能的最佳组合。
UVISEL Plus包括FastAcq，使用双调制以及新的电子、数据处理和高速单色仪，以更快、更准确地测量。从190 nm到2100 nm的高分辨率测量在3分钟内完成。
凭借市场上最高的高频相位调制技术(50 kHz)， UVISEL Plus提供了从190到2100纳米的高质量数据，并提供了高精度、高分辨率和无与伦比的信噪比。
与使用旋转元件的传统椭偏仪相比，Uvisel Plus实现了更高的灵敏度和精度。它可以对其他椭偏仪看不到的非常薄的薄膜或界面进行表征，也可以对高达50µm的厚层进行表征。
Uvisel Plus是光伏、微电子、光电子、光学涂层、纳米技术、平板显示、生物化学、冶金等领域的理想工具，可作为台式计量工具，并可在工艺室和卷对卷机器上进行原位集成
关键特性
Uvisel Plus椭偏光谱仪的产品特点如下:
- 最高的精度和灵敏度
- 模块化设计用于非原位、原位和滚到滚应用
- 扩展光谱范围从190到2100 nm
- 完全集成的软件包建模，测量，和自动操作
获得的信息
Uvisel Plus椭偏分光计提供:
- 薄膜厚度为1Å ~ 50µm
- 表面及界面粗糙度
- 各向同性、各向异性和梯度薄膜的光学常数(n,k)
- 例如，吸收系数a (alpha)
- 材料性能:复合合金成分、孔隙率、形貌、结晶度等
- 去极化
- 穆勒矩阵