半导体制造离子嵌入-使用图层和易碎性金属提高系统可靠性

ion嵌入复杂敏感过程并用于制造半导体光束纯度和过程稳定性对成功操作很重要石墨和易碎金属部件发挥关键作用亚博网站下载整体上,当传统材料替换高质量材料和流程专用合金时,维护系统总成本可以降低。

期间一移植过程,叠离子加速并植入单晶体基底以操纵散装性能亚博网站下载砷、、磷、和是某些典型叠加材料

离子束方向、能量和一致性必须复用数进程修改,即使连续运行数小时,也不应变化组件形状和物性冲击过程稳定性和生命表示组件保持形状和物性越长 过程越稳定重复

植入器系统内,多构件与离子波束和处理气体保持长段接触亚博网站下载系统内强化学电机力可促进沿波束线重新沉降、侵蚀和运输构件app亚博体育当素材从这些组件丢失时,会影响过程精度并导致设备故障此类事件可能耗资数千美元高容量工厂

图形和易碎金属

亚博网站下载石墨和易碎金属等材料主要用于离子移植器波束亚博网站下载这些材料的热化机性能对改善系统使用寿命至关重要

人必须熟悉这些物质属性,为每个替换部件选择正确材料亚博网站下载素材专家平面图九十多年来在易碎金属领域拥有专门知识,三十余年石墨和离子移植过程经验亚博网站下载PLANSE提高OEM部件设计及材料使用

三石化质量类

PlanceE提供三种不同但完全匹配质量类石墨质量类包括Aperture图形类、净化结构图类和特殊石墨类亚博网站下载物料因硬度、强度和粒子大小而异

净化结构石墨粒度为5-10+m,使用时波束在正常操作条件下无法接触物料举例说,它用于安装框架和覆盖

Aperture Graphite粒子大小为~5m并主要用于孔径50%比净化结构图Aperture石墨同质性物料损失不可避免时应用中,该石墨同质性保证这种损失比净化结构石墨更加一致

特殊石墨超直粒度为1-2微米并极同质性材料比Aperture图形约硬强50%,并用于提取光学学和大规模解析应用

图1PLANSE孔径插入高质量石墨

除硬度、强度和粒子大小不同外,这些石墨质量类在电气、化学和机械特性方面也有差异。某些特殊石墨平滑面并显示良好的电传性系统可减少提取孔径系统分光效果,并确保离子源温度分布统一三石墨质量类均拥有高纯度

组合石墨省省费用

只有少数石墨植入器组件供应商满足PLAPSE严格质量要求PLANSE处理离子移植等敏感过程时确保透明性并清晰定义哪些材料用于哪个组件

PRIPESE依赖图集组合以节省成本并交付高质量产品给客户举例说,标准质量石墨用于外围部件,而溢价质量石墨用于最敏感部件

图2博士Thomas Werninghaus展示PLANSE高级标准单山G2Aperture

PLANSEE在石墨特性方面的丰富经验证明在工程和制造领域有用,在这些领域可产生最复杂几何形状或可简化复杂多段组件以方便安装并削减组件成本

卤素循环

亚博网站下载PLANSEE研究团队还开发新合金和复合材料以改善组件生命和移植性能多PLEPSE客户正在使用一种名为tungstenlanthion(WL)的特殊复合材料来减少离子源卤循环效应

图3i源室与WL

结论

PLANSE开发各种替换部件,从Stolgite、molybdenum、tungsten、tantelum和陶瓷离子移植和其他半导体应用PLANSE提供创新解决方案帮助扩展系统服务寿命,允许简化处理并降低维护费用

亚博网站下载这些信息取自PLANSE提供的材料并经过审查修改

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