表面处理是电子部门铜箔制造的重要组成部分。这些处理用于清洁铜箔,形成多层或单层薄膜涂层,以预防氧化或改善铜箔的电化学特性。
必须不断监测化学浴,以确保最高质量的表面处理。Rigaku提供Nex OL Analyzer为了满足这些分析需求,以进行浴缸组成的趋势分析。显示了含有镍,钴,钼,锌和鉴定的水溶液溶液的测量。
仪器配置
模型: |
rigaku nex ol分析仪 |
励磁: |
直接使用过滤器 |
X射线管: |
4 W Ag-Anode |
探测器: |
硅漂移检测器 |
电影: |
2 mil kapton,带有0.5万亿多氟龙涂层(在润湿的一侧) |
图1。rigaku nex ol分析仪
样品准备和演示
通过将Zn,Ni,In,Mo和Co的粉末状试剂与正确的水量混合,制备了水性校准溶液。为Zn和校准准备了五个校准标准,并为NI,MO&CO校准准备了五个标准。所有样品均在静态位置测量辅助样品输入循环。
校准和测量
使用水性样品开发了经验校准。表1显示了典型校准的摘要。
表格1。
零件 |
浓度范围(质量%) |
RMS偏差 |
r2信心 |
Zn |
750-1425 |
14.6 |
0.9958 |
在 |
140-320 |
4.2 |
0.9957 |
你 |
4500-5500 |
16.4 |
0.9973 |
莫 |
780-1525 |
13.7 |
0.9976 |
co |
1275-1750 |
22.1 |
0.9805 |
样品恢复和精度
选择了代表性的中心标准,并针对经验校准进行了分析,以证明有效的恢复和精度。在静态位置连续10次分析样品。下面提供了典型的性能结果。
表2。
示例ID:Zn-IN STD3单元:( PPM)
示例ID:Zn-IN STD3单元:( PPM) |
元素 |
测定值 |
nex ol值* |
标准偏差 |
RSD(%) |
Zn |
1100 |
1118 |
16 |
1.5 |
在 |
220 |
222 |
3 |
1.2 |
* nex ol值反映了10重复分析的平均值。
表3。
示例ID:Zn-IN STD3单元:( PPM) |
元素 |
测定值 |
nex ol值* |
标准偏差 |
RSD(%) |
你 |
5200 |
5362 |
36 |
0.7 |
莫 |
1100 |
1115 |
4 |
0.4 |
co |
1500 |
1547年 |
19 |
1.3 |
经验检测极限(LLD)
经验方法用于确定包含无可测量元件的干净矩阵中的检测极限。在经验方法中,采用了10个重复分析“空白”(去离子水),并确定标准偏差(a)。然后将检测的下限(LLD)定义为3A。
表4。
样本类型:DI水单元:ppm |
零件 |
经验LLD |
条件计算时间 |
Zn |
5 |
100 |
在 |
13 |
100 |
你 |
35 |
60 |
莫 |
16 |
60 |
co |
19 |
60 |
多元素分析
Rigaku Nex OL系统使用高分辨率的半导体检测器,可实现高灵敏度和分辨率。如这些光谱所示,可以测量几乎没有或没有峰重叠的接近或相邻元素。
图3。
图4。
nex ol键功能
nex ol的主要特征是:
- 趋势分析图表
- 实时过程控制
- 能够根据申请来测量u的元素
- 强大的Rigaku Nex QC+带有SDD检测器的光学内核
- 工业触摸屏用户界面
- 独特的toolless流动池设计
- 没有危险的放射性同位素
图5。
结论
NEX OL为高通量制造商提供了一个功能强大,简单且通用的系统,用于量化其过程流的元素组成。这项研究表明,使用稳定的样品,适当的样品处理和正确的校准技术,rigaku nex ol edxrf可以在监测用于制造铜箔的化学溶液的浓度方面取得出色的结果。
此信息已从Rigaku提供的材料中采购,审查和改编。亚博网站下载
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