用于铜箔表面处理水性化学浴溶液

表面处理是电子部门铜箔制造的重要组成部分。这些处理用于清洁铜箔,形成多层或单层薄膜涂层,以预防氧化或改善铜箔的电化学特性。

必须不断监测化学浴,以确保最高质量的表面处理。Rigaku提供Nex OL Analyzer为了满足这些分析需求,以进行浴缸组成的趋势分析。显示了含有镍,钴,钼,锌和鉴定的水溶液溶液的测量。

仪器配置

模型: rigaku nex ol分析仪
励磁: 直接使用过滤器
X射线管: 4 W Ag-Anode
探测器: 硅漂移检测器
电影: 2 mil kapton,带有0.5万亿多氟龙涂层(在润湿的一侧)

rigaku nex ol分析仪

图1。rigaku nex ol分析仪

样品准备和演示

通过将Zn,Ni,In,Mo和Co的粉末状试剂与正确的水量混合,制备了水性校准溶液。为Zn和校准准备了五个校准标准,并为NI,MO&CO校准准备了五个标准。所有样品均在静态位置测量辅助样品输入循环。

校准和测量

使用水性样品开发了经验校准。表1显示了典型校准的摘要。

表格1。

零件 浓度范围(质量%) RMS偏差 r2信心
Zn 750-1425 14.6 0.9958
140-320 4.2 0.9957
4500-5500 16.4 0.9973
780-1525 13.7 0.9976
co 1275-1750 22.1 0.9805

样品恢复和精度

选择了代表性的中心标准,并针对经验校准进行了分析,以证明有效的恢复和精度。在静态位置连续10次分析样品。下面提供了典型的性能结果。

表2。

示例ID:Zn-IN STD3单元:( PPM)

示例ID:Zn-IN STD3单元:( PPM)
元素 测定值 nex ol值* 标准偏差 RSD(%)
Zn 1100 1118 16 1.5
220 222 3 1.2

* nex ol值反映了10重复分析的平均值。

表3。

示例ID:Zn-IN STD3单元:( PPM)
元素 测定值 nex ol值* 标准偏差 RSD(%)
5200 5362 36 0.7
1100 1115 4 0.4
co 1500 1547年 19 1.3

经验检测极限(LLD)

经验方法用于确定包含无可测量元件的干净矩阵中的检测极限。在经验方法中,采用了10个重复分析“空白”(去离子水),并确定标准偏差(a)。然后将检测的下限(LLD)定义为3A。

表4。

样本类型:DI水单元:ppm
零件 经验LLD 条件计算时间
Zn 5 100
13 100
35 60
16 60
co 19 60

多元素分析

Rigaku Nex OL系统使用高分辨率的半导体检测器,可实现高灵敏度和分辨率。如这些光谱所示,可以测量几乎没有或没有峰重叠的接近或相邻元素。

图3。

图4。

nex ol键功能

nex ol的主要特征是:

  • 趋势分析图表
  • 实时过程控制
  • 能够根据申请来测量u的元素
  • 强大的Rigaku Nex QC+带有SDD检测器的光学内核
  • 工业触摸屏用户界面
  • 独特的toolless流动池设计
  • 没有危险的放射性同位素

图5。

结论

NEX OL为高通量制造商提供了一个功能强大,简单且通用的系统,用于量化其过程流的元素组成。这项研究表明,使用稳定的样品,适当的样品处理和正确的校准技术,rigaku nex ol edxrf可以在监测用于制造铜箔的化学溶液的浓度方面取得出色的结果。

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    Rigaku Corporation。(2019年11月25日)。用于铜箔表面处理的水溶液溶液。azom。于2021年8月15日从//www.washintong.com/article.aspx?articleId=9378检索。

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    Rigaku Corporation。“用于铜箔表面处理的水性化学浴溶液”。azom。//www.washintong.com/article.aspx?articleId=9378。(2021年8月15日访问)。

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    Rigaku Corporation。2019。用于铜箔表面处理水性化学浴溶液。Azom,2021年8月15日,https://www.washintong.com/article.aspx?articleId=9378。

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