同步加速器镜的等离子体清洗

同步加速器光源已经成为材料、生命科学、半导体等领域研究人员的重要工具。亚博网站下载亚博老虎机网登录同步加速器存储环中的高速电子产生高强度的x射线和极紫外光，然后由专门的反射镜定向到实验观测站进行测量。

清洁同步镜的问题

重要的是，大多数光学元件保持和操作在非常高的真空下，含碳分子，如碳氢化合物是无处不在的污染物。当高强度的同步加速器光在真空中撞击到专门的反射镜时，这些反射镜上的任何碳都将发生反应，形成一个不易挥发的层。

即使该层仅为几纳米，也会减少镜子的反射率。最终，反射率将是如此之低，层厚度如此大，镜子不再用于某些实验。

拆下镜子，清洁然后重新安装是耗时和昂贵的。镜面清洁的原位方法非常有用。其他需要清洁的真空系统的技术已经采用了改善碳污染问题的方法。

具体地，扫描电子显微镜（SEM）中存在类似的污染问题，其中能量电子束导致驻留在待分析的表面上以进行化学变化并形成非挥发性碳层。该层通常被视为SEM图像中的“黑色方形”。

GV10x下游Asher用于碳切除SEM腔室

为了在SEM中减少腔室中的碳，需要在腔室上安装一个设备，通过等离子体的下游过程去除碳，从而改善SEM成像。商用的GV10x下游Asher在快速去除SEM室中的碳方面非常有效，同时足够温和，不伤害内部的敏感组件。GV10x下游Asher利用专利的电感耦合等离子体源产生高能清洁气体，以清除SEM室的污染。问题是同样的技术是否可以用于同步加速器镜。

正在进行的实验与同步镜

这个解决方案正在由西班牙巴塞罗那的cell - alba同步加速器的一个小组进行测试，该小组由Eric Pellegrin博士领导，并与美国加州旧金山的ibss集团合作。佩莱格林博士和他的同事，伊戈尔斯博士Šics和胡安雷耶斯-埃雷拉博士，正在确定商业化版本的GV10x的功效。他们也在测量清洁对镜子本身光学表面的影响。他们正在对不同的气体混合物进行测试，包括氧气、氢气、惰性气体、工作压力和射频功率。

GV10x也与电容耦合天线源进行比较，是将能量清洁气体引入腔室的传统方法。

电子束沉积用于在样品上沉积污染。如图1所示的测试室具有GV10x和连接的天线源。

图1。由Cells-Alba小组使用的实验装置，用于测试通过等离子体清洗从镜像样品中去除碳。GV10x下游亚瑟源附着在腔室的右侧。

此外，存在石英晶体微稳定（QCM），样品机械剂，气体混合装置和残留气体分析仪。XPS用于对表面化学测量的样品进行表面分析，并且使用干涉显微镜测量表面粗糙度。细胞-alba还使用由在更高的RF功率下操作的IBSS组提供的原型GV10X asher系统，该系统已经显示在产生氢基团时更有效。

结论

获得的初始数据非常令人鼓舞。当等离子体气体是纯氧时，GV10X在相同的功率和压力下显示出在“传统”天线源上的清洁速率增加超过2倍。GV10X源也在使用氢气混合物时显示出增加的承诺。对于这些情况，在没有进一步氧化样品表面的情况下进行清洁。这些实验正在进行中，结果预计将在不久的将来预期。

此信息已采购，审查和调整IBSS集团提供的材料亚博网站下载

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