半导体行业的精确诱导加热

随着新能源效率行业的需求开始增长,半导体供应商的机会是巨大的。尽管如此,供应商在尝试增加晶片,半导体行业原材料和成品产品的尝试期间面临越来越多的挑战。亚博网站下载精密控制加热是用于晶圆以及最终半导体产品的原材料或晶体生产的关键操作。亚博网站下载

Ambrell的高级诱导加热增加了诸如晶体生长和晶圆生产过程的更可靠性,精度和成本效益。Ambrell的Ekoheat与耐药性加热相比,产品是针对半导体应用专门设计的,因为它们会更均匀,高效。该公司的非接触式电磁加热技术可节省能源,同时提高生产率并提供优质的半导体产品。

通过诱导加热创新 - 优势

感应技术是加热导电材料的无火过程。亚博网站下载快速干净的方法在电磁上会产生所需的热量,以提供高度控制的晶体生长环境。交替的电流通过坩埚周围的感应线圈。当涡流内部和反对坩埚的电阻率时产生热量。质量的加热是用无与伦比的均匀性完成的,而线圈保持冷却。

过程集成

Ambrell在执行先进的研发以提供创新生产解决方案方面拥有良好的记录。该公司拥有20多种技术专利,并被认为是固态诱导供暖的关键参与者。其EkoHeat溶液有助于晶体生长的系统操作员对加热过程的精确控制,从而严格调节熔融质量温度。它在不同环境中加热的清洁和精确的方法有助于优质晶体的生长。

Ambrell的Ekoheat。

Ambrell的Ekoheat。

Ekoheat设计不仅允许对AC线电压进行细致的输出功率在360和520 V之间,还可以调节输出控制的全功率2%至100%。这可以控制冷却和加热过程中的温度,从而确保了Boule的更多利用。准确,频率敏捷的调整不仅为不同的负载条件下提供了最佳质量的精确程度,而且还为过程或设置变化提供了精确的更改。

Ekoheat诱导加热系统可以轻松,快速地集成到现有的生产过程中。这不仅将停机时间或修改降低到当前设置,而且还提供了创新,更有效的加热过程。它们已经可以自动化,并且具有完整的模拟和数字I/O面板。可以根据客户的业务需求来定制它们。除了提供微小且微不足道的占地面积外,如果该过程很遥远,它们还提供外部工作头。可以在内置的110或220 VAC便利容器中轻松容纳客户操作中的仪器。

与电阻加热技术相比,感应加热可节省相当大的能源,因为它专门集中在材料中。亚博网站下载此外,由于其可靠性和一致性,它降低了缺陷率和相关成本。安布雷尔(Ambrell)的0.92功率因素进一步节省了能源费用,较短的加热周期提高了生产率,并且有针对性的供暖清除了炉子上升的成本。此外,由于冷却要求的减少,水成本降低。

Ambrell为客户分配了一支独家的感应供暖专家团队,以设计定制解决方案,以进行离散或连续生产过程。该公司将将其公认的感应加热电力系统应用于客户的流程。其服务部门准备提供预防性维护和及时的紧急支持。

好处

Ambrell创新 对客户的好处
外部或内部坦克电路的选项 外部水箱减少了干净的房间空间,而内部储罐
使用4-20 MA输入的电源控制 通过控制全功率的2%至100%的功率来促进晶体生长
快速准时以获得全功率 消除了在短时间停电之后废除Boule的必要性,从而改善了晶体质量并减少废物
使用数字显示的用户友好运算符界面 通过清晰的读数来减少操作员错误,从而提高晶体质量
频敏设计具有更一致的动力传递 更好的晶体,较少的缺陷
轻松更换系统,以兼容各种大小的坩埚和线圈 降低供暖费用并提高生产效率
通过单独的线圈加热多区域 允许对温度梯度的区域进行精炼和准确的控制,以提高晶体质量
操作员预设加热配置文件可以重播固定过程 最小的设置时间和提高的生产率
组件少于其他感应加热器 改善时间,零件失败,较少库存,最终降低维护费用
孤立的高压输出到2500 V 由于较高的电感线圈有效驱动,因此可以拉大较大的晶体

该信息已从Ambrell感应加热解决方案提供的材料中采购,审查和调整。亚博网站下载

有关此消息来源的更多信息,请访问Ambrell感应加热溶液。

引用

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    Ambrell感应加热溶液。(2019年10月16日)。半导体行业的精确诱导加热。azom。于2021年12月19日从//www.washintong.com/article.aspx?articleId=8052检索。

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    Ambrell感应加热溶液。2019。半导体行业的精确诱导加热。Azom,2021年12月19日,https://www.washintong.com/article.aspx?articleId=8052。

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