电镀铜用电解液的清洁度监测

酸性镀铜是一种用于制造印刷电路板的电化学工艺。电解镀铜槽中的离子电流的作用是这样的，当镀铜时，任何和所有悬浮粒子都被强迫向阴极，即被镀铜的面板。如果粒子足够大(yabo2145 - 20 μ m)，它们的存在会扰乱局部电场，足以降低电解质中存在的水平剂的有效性。

这种电泳迁移导致粗糙电镀，污染颗粒被困在在关键电路元件顶部形成的电解层中。yabo214在生产装置中，电镀电解液通常使用一个或多个专门为“抛光”化学品而制造的1 μ m过滤器连续过滤。

亚博网站下载材料和方法

仪器设置和校准

用于分析这种情况研究的100μm孔径管。任何孔的线性动态范围是其直径的2％至60％。100μm光圈管可以分析颗粒浓度和尺寸分布从2至60μm。在需要不同的尺寸范围的情况下，可以使用另一个孔径管。根据多学器3操作员手册，仪器被校准。为了确定样品中颗粒的浓度和尺寸分布，结果在数/ mL中获得。yabo214软件中的大小插值特征用于量化不同大小水平的粒子的数量。yabo214仪器的控制模式是体积模式选择500μl作为运行量。

程序

电解质

由于样品是导电溶液，因此分析其不能进一步稀释到另一电解质中。对于外部电解质罐，利用0.45-μm过滤的样品。在“示例信息”对话框中多学器3.软件输入以下信息：

样品体积：150毫升
电解质体积：0毫升
分析体积：500μL

样品分析

运行示例

采用100 μm孔径对具有样品制备的圆底烧杯进行了分析。每次分析前都冲洗孔管。每次运行后，电极和孔在进行下一个样品之前被冲洗。

结果

结果以粒子/ mL表示。yabo214下图中的图表显示了单个样本的尺寸分布。

图1。参考样品的尺寸分布。图片信用：Beckman Coulter

颗粒浓度：3,758颗粒yabo214/ ml大于2μm。

为了建立该方法的可重复性，连续五次分析相同的样品。表1显示了结果。

表1。结果的可重复性。

	粒yabo214子	的意思是	d10	d50	D90.
跑	每毫升	μm	μm	μm	μm
1	3,758	2.73	2.01	2.15	3.80
2	3,294	2.73	2.02	2.16	3.71
3.	3,654	2.69	2.02	2.14	3.50
4.	3,744	2.77	2.01	2.13	3.70
4.	3714年	2.72	2.02	2.14	3.57
断言。	3,633	2.73	2.02	2.14	3.66
简历。	5.3％	1.0％	0.0％	0.6%	3.2%

随着粒子的总浓度，通过使用软件中的插值点功能，可以确定粒子浓度以上预先设定的大yabo214小水平。

每yabo214毫升粒子大于	直径（μm）
3,758	2
668	3.
323	4.
187.	5.
58.	10.
1	25.
0.	50.

结论

库尔特原理是目前最高分辨率的粒度测定和颗粒计数技术，是监测镀铜过程中电解液清洁度的极好工具。yabo214本文所述的方法也可用于评价镀铜过程中的过滤效率。

这些信息已被源地，从Beckman Coulter，Inc. - 粒子表征提供的材料进行审核和调整。亚博网站下载

有关此来源的更多信息，请访问贝克曼库尔特公司-粒度表征。