太阳能电池的性能取决于许多参数如膜厚度、底物结构、准确接触手指形成与晶片边缘质量。ζ- 200自动三维测量系统提供了真彩色分析和成像复杂的表面为每个站点在不到1分钟。专有和创新ZDot技术使几乎所有类型的测量非常光滑的表面非常粗糙。
太阳能电池的过程描述
纹理表面面积比Mono和聚硅
晶片表面蚀刻的金字塔结构来提高太阳能电池的光吸收,如下ζ三维图像显示在(图1)。金字塔领域的观点进行了分析和计算序列重演在几个网站在整个晶片。
图1所示。ζ晶圆片表面金字塔结构的三维图像和相应的分析。
膜厚度测量
膜厚度从30 nm 10µm使用白光光谱仪可以确定,即使在硅表面相对粗糙(图2)。
图2。使用白光光谱仪测定膜厚度。
方便的边缘检测模块
为了消除导电区域从晶片边缘,蚀刻或使用抛光过程;然而他们可以可以造成损害。晶片边缘的ζ三维图像如下所示(图3)。晶片边缘的几个横截面显示粗糙度和形状在正确的显示。
图3。ζ晶片边缘的三维图像和相应的特征。
自动接触手指检测和检验
的自动化分析金属接触手指使用高动态范围成像启用使用ζ- 200系统。
下面列出了高动态范围成像的特点:
- 自动对焦使检测晶片的表面。
- 模式识别支持确定金属图像中心和安排相同的模式。
- recipe-defined扫描参数实现控制的垂直距离,帮助调整照明适应极低的反射率(nitride-coated)和反射率(金属)的表面。
- 自动分析软件确定各种截面的高度和宽度。
- 可选的序列重复测量整个晶片网站上。
ζ太阳能包
ζ3 d软件检查标准2 d或3 d薄片图像一般表面特征,包括以下:
- 表面粗糙度。
- 特征尺寸、直径、面积和体积。
- 阶梯高度。
- 晶片弓。
- 膜厚度。
- 表面3 d可视化在真正的颜色。
- 统计数据。
图4。ζ200系统系列(特写)。
配置
有几种系统的配置,包括以下几点:
- Zeta-20手动加载系统研发。
- ζ- 200系统自动XY阶段。
- 可选的边缘测量夹具。
- 可选膜厚度测量。
- 真空抛掷大小不同的晶圆。
- 压电阶段2 nm高分辨率。
图5。ζ- 200系统系列。
定制太阳能电池分析软件包括生产就绪的食谱,使底物结构特征和联系手指检查。
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