基于三维计量系统的微流控器件分析

微流体技术取得了很大的关注。微流体装置能够控制非常小的液体量，并在生物技术中提高了几种新应用。这些装置包括在诸如玻璃，硅或聚合物的材料中制造的孔，通道和控制结构（图1）。亚博网站下载

Zeta-300自动化3D计量系统有助于成像和分析设备特征，包括以下:

• 透过透明层成像井。
• 测量尺寸从亚微米到毫米以上。
• 处理高粗糙度和低反射表面。

图1所示。微流体装置的示意图。

垂直尺寸分析

下图显示了使用Zeta-300自动化3D计量系统完成的垂直尺寸分析:

图2显示了完全打开通道的Zeta图像

图2。齐塔的一个完全开放的频道。

图3显示了明渠的台阶高度分析。

图3。开放通道的步高度分析。

图4显示了具有透明盖板的通道的Zeta图像，显示了顶部、中间和底部表面。

图4。带有透明盖板的通道的Zeta图像，显示顶部、中间和底部表面。

图5显示了多表面图像的分析：盖板厚度为93.4μm，通道深度为59.2μm。

图5。分析多表面图像，显示盖板厚度（93.4μm）和通道深度（59.2μm）。

横向维度分析

下图显示了使用Zeta-300自动化3D计量系统执行的横向尺寸分析：

图6显示了结构化微流控通道的分析，显示了两个相邻金字塔结构的高度。

图6。分析结构化的微流体通道，显示两个相邻金字塔结构的高度。

图7显示了覆盖槽附近的裸井结构的X和y维分析。孔的外径为505.4 μm，内径为310.5 μm，通道宽度为102.9 μm。

图7。覆盖槽旁的裸井结构的X和Y尺寸分析。

Zeta-300系统

Zeta-300自动化3D测量系统提供的复杂表面的真实颜色成像在不到一分钟的情况下。

突出的特性

Zeta-300系统的功能是：

• 高亮度白色LED光源。
• XY舞台旅行200 x 200毫米。
• 总垂直行程30毫米。
• 多种FOV配置可用。
• 英特尔Core2 Duo处理器，具有3GB RAM，320 GB磁盘和宽屏液晶显示器。

光学规格

Zeta-300系统的光学规格如下表所示:

表格1。Zeta-300系统的光学规范。

光学规格
	5倍	10倍	20x.	50X.	100 x
Z res(μm)	5.90	1.50	0.50	0．10	0．07
N.A.	0．15	0．30	0.45	0.80	0.90
XY RES（μm）	2.20	1.10	0.75	0.42	0.40
FOV 1(μm)	1920 x1440像素	960 x720	480x360	192x144	96年x72
FOV 2（μm）	5029年x3771	2514x1886.	1257年x943	503x377	251年x189
精度±2.5％重复性≤1.5％（1σ/平均值）

ζ三维软件

Zeta 3D软件根据以下特点分析二维或三维图像:

• 步高。
• 表面粗糙度。
• 特征尺寸，直径，面积和体积。
• 透明特征的多表面分析。
• 3D表面可视化。
• 统计数据。

Zeta-300的一般应用

Zeta-300可用于以下应用程序：

• 具有统计数据的多站点测量。
• 食谱度量定义。
• 自动数据和图像导出。

图8。Zeta -300系统系列。

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