MFS 02快速流量传感器的优点和应用

特别是对于快速流动测量和引线键合组件，开发了流量传感器MFS 02。由于膜系统，热质量降低至最小值。这种小的热质量是非常快的响应时间和低功耗。

膜仅厚几微米，并且由玻璃基板承载。因此，系统是稳健的，并且可以轻松处理设备。

MFS 02流量传感器的优点

优势MFS 02流量传感器包括：

• 快速响应时间
• 小质量流量
• 检测流动方向
• 低功耗
• 小热质量
• 鲁棒设计
• 最佳价格 - 绩效比率

MFS 02流量传感器的应用

• 医疗设备
• 家庭肺活量计
• 差压传感器
• Mikrofluidic（天然气）

MEMS制造过程-f o t u r a n

照片结构化

最终传感器元素

MEMS制造过程 - 老化结构

• 照片结构化玻璃基板与膜 - polymere dot
• 旋转涂层分布群
• 溅射薄膜铂金
• 光刻掩模过程
• 基于离子的蚀刻工艺
• RTD结构钝化

传感器应用 - 芯片布局和电路

• 不同的电阻器布置和值，具体取决于流程应用程序
• 由于廉价的掩码过程，可以定制传感器

用于CTA -Mode的简单电阻结构

用恒定电压或电流供应流向敏感的全桥

在CTA中用作全桥;流动方向敏感

传感器应用 - 热传感器属性

简单的全桥热量计模式传感器供电3mA和约2,5伏流速0,00mln / min

简单的全桥热量计模式传感器供电3mA和约2,5伏流量200mLn / min

全桥热量计模式和CTA偏置传感器电源4mA和约3.5伏流速600mLn / min

传感器应用 - 浆果性能

• 无形化标称敏感度3mV / mlnmin^-1在零交叉点
• 具有CTA偏置的全桥模式的物理流量范围放大
• 加热器与CTA偏置没有冷却效果。
• 加热功率10mW至50MW
• 稳定的零交叉点;独立于污染物的任何漂移效果。

高流量CTA模式范围

传感器申请 - 可用可能性

• 易于使用和强大的传感器结构
• 通过安装在腔或孔中的PCB集成
• 通过引线键合或焊接连接
• 流动通道的后分安装

• 传感器安装在单独的流动通道中
• 用于PCB连接的引线流量传感器
• 挑选传感器组装
• 通过USB接口即插即用模块

具有引线键合传感器类型的示例MFS02与PCB上的ASIC一起。

这些信息已被采购，审查和调整，由美国部门进行创新传感器技术提供的材料。亚博网站下载

有关此来源的更多信息，请访问创新传感器技术，美国部门。