保持电荷平衡在材料分析使用猎户座+氦离子显微镜亚博网站下载

显微镜在材料调查探索表面拓扑结构,材料界面、子结构如亚博网站下载谷物或混杂阶段,或各种处理技术的影响。因此,显微镜需要能够处理各种各样的材料类型和表面属性。

对带电粒子显微镜的挑战

许多技术重要的材料是高度绝缘。亚博网站下载这对带电粒子显微镜是一个挑战。大电压可以很容易地建立样本,扭曲的图像,破坏之下,并减少图像分辨率。

使用猎户座+氦离子显微镜成像绝缘样品

有三个方法可以应用于氦离子显微镜图像绝缘样品。第一个是电荷中和洪水枪。这提供了一种低能量电子的散射光束图像领域。这些电子被吸引到带正电荷的区域由离子束,从而自动调节的电荷补偿。光掩模的检验,用于半导体光刻、中和是应用程序的一个例子。铬吸收器的结合和高度绝缘石英衬底是一个具有挑战性的系统。猎户座®+能够保持电荷平衡,产生一个清爽的形象,就像下面的例子。铬粒结构的重要信息,线边缘粗糙度,chrome-quartz接口的细节都与高保真捕获。我们也可以了解到右边的线条更加孤立,是可以理解的,这是比邻国略深。

避免充电问题的另一种方法是通过形象的卢瑟福背散射离子(RBI模式)。在这个配置中获取高能量粒子分散氦,而这些更受表面电位的影响。yabo214这方面的一个例子在薄膜太阳能电池的调查,第二个图片所示。单个细胞通过激光切割花纹玻璃衬底。因此电压对比使它很难看到导电铝涂层和玻璃表面的细节,在右边的图片蒙太奇。印度储备银行模式左边的图片,但是,揭示了表面微凸体的多样性或粒子在玻璃以及拓扑玻璃本身的细节。yabo214

最后,还有一些样例类型的选择只是为了形象猎户座®加上电子束电流较低,允许电荷消散。高heliuminduced二次电子产量允许成像与sub-picoampere电子束电流,通常足以创建一个稳定的电荷状态,从而稳定成像。

Chrome在石英光掩模(Mike Postek博士由NIST)

薄膜太阳能电池隔离削减(由弗兰克•阿尔特曼博士,弗劳恩霍夫研究所哈莉·德国)。

猎户座+ Capabilitites

电荷中和,卢瑟福背散射成像

应用程序

成像绝缘样品

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