微分光度测定薄膜深度

赞助者CRAIC技术9112009

CRAIC技术世界领先开发UV可见NIR范围科学工具用于微分析其中包括QDI数列UV可见NIR微分数仪设计帮助测量微镜样本的光学特性CRAIC的UVM序列显微镜覆盖UV可见NIR范围,帮助分析远超出可见范围子微分辨率CRAIC技术还拥有CTR序列Raman微分光计对显微样本进行非损分析并不要忘记CRAIC自豪地支持微分光仪和显微镜产品与不匹配服务支持

图像感想:shutterstock/gonin

光线集成电路

亚博网站下载现代集成电路通过向子串存多层不同材料制成,然后在这些薄膜内嵌入电路薄膜的厚度必须精确控制以便复制生产集成电路通常,电影只有数十纳米厚,并有次微范围电路维度

微分量计薄度

微分量计,如CRAIC技术制造的微分量计,是快速、易易可靠测量薄膜厚度的最有效工具之一薄膜厚度测量工具设计得无缝地将微分量计与精密软件和自动化相融合,以测量薄膜厚度,采样区小于微粒设计这些工具是为了测量沉积在许多类型子串上多类电影的薄膜厚度

Thin-Film透明易读子串测量

电影厚度测量既透明又不透明子串上都可用这些工具监控平板显示板除半导体芯片和MEMS设备外等设备薄厚度

图1通过CRAIC技术所见集成电路实例microspectrophotometer.黑方形是分光计本身的入口孔径光传递孔径测量强度对波长以稀薄薄膜如水油常见,结果是一种干扰模式,峰值由数项因素确定.包括薄膜厚度图2就是一个例子

CRAIC技术微分数计所见集成电路

图1.CRAIC技术微分数计所见集成电路

这三个反射光谱由三种不同厚度二维薄膜组成沉入硅基使用这些光谱QDI电影ProTM软件并用数项精密算法建模每一层的厚度结果显示红谱厚度为10.1纳米,蓝厚度为30.0纳米,绿宽度厚度为50.0纳米亚博网站下载同样的技术可用传输或反射多类材料和子串测量胶片厚度并由于CRAIC技术薄膜测量法的灵活性,采样区从100多微米跨子微米不等

QDI电影ProTM软件

亚博网站下载这些信息取自CRAIC技术提供的材料并经过审查修改

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CRAIC技术2020年10月23日微光度测量子Micron样本中的薄膜深度AZOM2021年8月29日检索网站s/www.washintong.com/article.aspx
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