素材制造过程可逐步改变素材最终属性因此,为验证材料最终质量并理解前后不一致之处,科学家需要统计相关样本计数,以获取足够的分析数据。为了准确评估整体材料质量,可能需要调查不同地区的若干样本。
图1STEM角黑域图象tiumTEM样本自动编译TESCAN自动吊销TM软件平均厚度为65纳米
综合定性总量取决于需要调查特征的大小特征大小往往是纳米尺度,意指相位和化学组成变化或材料形态变化需要高分辨率仪表才能适当学习
亚博网站下载开发新材料意味着新样本定性挑战亚博网站下载需要超高分辨率技术研究粒度达数十纳米的材料
电子显微镜往往是初始选择时需要纳米分辨率捕捉对理解材料属性至关重要的精细细节亚博网站下载传输电子显微镜提供终极解析法并快速成为高精度材料特征选择技术面向TEM特征分析样本对事件电子必须透明实现正确样本厚度一致性并有有限非态损耗对于实现最优分析结果至关重要。
使用FIB-SEM准备样本意味着精确导航相关区域FIB-SEM技术因地制宜,不会在目标区外造成损害。亚博网站下载有了这个方法,材料物理机械性能可以更精确地评估,因为有足够的样本
TEM样本准备FIB-SEM对经验较少的用户可能具有挑战性,TEM样本质量可能受到质疑为了避免这种情况,Tecan使用自动化过程制作TEM样本保证可复制TEM样本质量,节省运算符时间,并允许缺乏广博FIB-SEM经验者准备高质量TEM样本
亚博网站下载材料方法
粒结构极优解析多台元样本为TEM定性准备样本结构极优美,意指TEM分析有可能比常用EBSD特征描述进一步揭示样本表面细节
四种TEMschillae使用单作业模板中规定的自动化过程从钛样本的不同部分制备TEM样本由两个FIB-Seet运算符制作,使用Ga-ion TESCANAMBERFIB-SEM软件TEM样本准备
TESCAN自动化SlisterTM自动机编程和最终打扫,保证样本制作质量可靠TEM样本升空并附加TEM网格使用软件中的引导分步工作流操作,以维护可靠的工作流并最小化操作者误差的可能性
亚博网站下载TESCANTENSORSTEM用于TEM定性和确定分析材料平均粒度,生成材料粒度统计信息亚博网站下载平均粒度信息是在不同条件下建模材料属性时关键值,如特定温度或机械载荷时化学和机械变化
亚博网站下载可评价的另一个重要参数是最大粒度,当质量与平均粒度大相径庭时,它可能大大改变本地材料属性
亚博网站下载4D-STEM技术允许研究纳米级材料晶体学完全集成四维检测器显示粒度取向、大小和相位这种方法用于结晶研究钛样本
结果与讨论
四种TEM样本稀疏透明使用TESCAN自动扫描机TM.TEM样本自动编译战线内,包括自动化下划和初始擦除步骤下降后分步工作流引导运算符跨出并附加TEM网格,减少丢失预制TEM样本的风险样本附入网格后,可开始最后打磨步骤
TEM样本通常在高keV擦去TEM样本厚度,其次是低keV擦去变换在这次研究中,自动高KeV打扫后再自动低KeV打扫准备钛样本无需再打磨步骤提高TEM样本质量
条件和步骤由运算符选择,可按调查材料需要修改测试FIB-SEM剖面厚度和TEM分析证明所有四种样本可减少最终质量TEM样本使用自动化过程和引导升空平均厚度为65nm+9nm
图2STEM BrightField图片显示素结构极优美,图像感想:TescanUSA
图3对应粒度图图图2显示细节图像
结论和展望
编译样本的最终质量是使用分析样本的主要关注TEM.自动化采样准备过程确保采样质量可复制,并大增通过量,同时需要多采样自动化处理还减少样本准备期间出错的可能性,这可能影响对物质属性错误假设
自动化还使FIB-SEM经验较少的用户有信心制作样本TESCAN自动检索器设计方便配方定制,并与其他用户分享预置和完整工作流程
亚博网站下载这些信息取自TESCANUSA公司提供的材料并经过审查修改
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