Glass密封MEMS设备

微电机系统通过集成单基数转换各种行业,便利高敏感高效设备建设MEMS在各种应用中至关重要,包括医学、机动车辆、产业和国防^一号

成败MEMS设备常依赖维护密封环境保护其精密内部构件玻璃密封为在MEMS制造和打包等精确应用中实现可靠的密封提供优求解法²

图像感想iStock

理解密封的重要性

密封密封阻塞设备周围形成密封屏障,防止水分、污染物和其他外部元素进入微弱环境作用在MEMS设备中可改变性能或导致故障MEMS用于恒定性、精度和可靠性至关重要的领域,如航空航天、医学和电信,实现密封至关重要²

Glass海豹:MEMS理想解决方案

虽有各种密封技术,但玻璃密封是一种多功能高产方法,适合MEMS应用

方法使用玻璃独有性能为MEMS设备创建可靠、强健和精确封装,同时对联结面施加最小压力分三步处理后,玻璃粘贴刻在封装动画上,热压缩与主体设备联结10分钟。这种方法对真空下的物质应用千兆瓦和440摄氏度

亚博网站下载技术可联结疏水和水益面,并可用于最常用微系统表料,如铝、硅和玻璃^{3 4}

定制精度使用热扩展系数

亚博网站下载玻璃密封精确配制玻璃构件以匹配不同材料热扩充系数⁴物料CTE指物料变化与温度波动之交yabo214通过定制玻璃粒子组成,CTE可调整近似MEMS设备与封装材料兼容性保证,当受温度变化影响时,密封保持原封不变,不损及装置结构完整性²

Mo-Sci创举玻璃技术公司率先开发并完善玻璃密封解决方案,供各种应用使用,包括MEMS设备使用

公司专长在于用定制CTE制作封印镜Mo-Sci为MEMS制造商寻找可靠密封解决方案的理想伙伴,它有各种玻璃-金属-玻璃-电磁封印,精确匹配CTE并能够耐温达1600摄氏度^二五

玻璃海豹Versative

玻璃密封应用超出MEMS设备范围,推广到一系列前沿技术

太阳能电池

密封镜用于封装渗透光电元素这些元素效率高,廉价替代传统硅电池,但高度敏感水分,小量水分完全抑制功能激光辅助玻璃密封确保耐用密封屏蔽,屏蔽百草枯细胞不受水分阻塞,同时锁住含铅化学物²

金属离子热电池

玻璃密封在提高金属离子电池可靠性和长效性方面起着关键作用,包括锂离子电池和钠离子电池,后者需要海豹能经受高温并抵抗化学腐蚀玻璃密封提供弹性屏障,使先进电池技术高效运行

溶盐电池高依赖钠盐(如钠-镍和钠-硫氯化物)实现引人注意的能源和电密度,并因此成为大规模工业和能源存储应用的可选方案

密封眼镜高能替代传统聚合物或金属密封物,显示极强抗挑战化学环境以及熔化盐电池所固有高操作温度,操作温度介于300摄氏度至350摄氏度不等。²

高温传感器

玻璃密封还应用高温环境,如机动车辆和化工厂防腐热扩展和密封玻璃性质确保传感器在这种环境中运行的长期稳定性²

固态氧化物燃料电池

SOFCs拥有清洁高效发电的辉煌前景亚博网站下载制造高温封存SOFCs,MO-Sci目前使用两种方法,其中一种方法依赖传统玻璃-电磁封存,玻璃通过结晶建立封存组件联系

Mo-Sci的第二种方法涉及开发粘贴玻璃密封板,这些密封板在整个应用中保持静态并自愈合,减轻热应力相关风险并确保SOFCs长寿破解技术可望促进SOFCs商业化并广泛采用^二六

玻璃密封未来

玻璃密封技术成为实现MEMS设备封印和其他高级函数的一个大有希望的解决方案Mo-Sci等公司通过精确工程密封镜特性,使制造商能够创建高度可靠强健封装系统

随着技术创新前景继续扩展,玻璃密封在保护敏感构件和确保最优性能方面的作用变得越来越重要。

参考并深入阅读

1. Lutz M2021年,为什么定时对数字世界[在线]福布斯足够难可用地址 :https://www.forbes.com/sites/forbestechcouncil/2021/09/02/why-timing-must-be-tough-enough-for-our-digital-world/2023年8月10日登录
2. 格雷森密封玻璃应用可用地址 :https://mo-sci.com/sealing-glass-applications/2023年8月10日登录
3. 长大et al.GlassFrit2010第五期国际微系统打包电路技术大会可用地址 :https://doi.org/10.1109/IMPACT.2010.56995392023年12月12日登录
4. 亚博网站下载Knechtel,R.,(2015年)第31章-GlassFrit绑定线手册Silcon基础MEMS材料技术(第二版)。可用地址 :https://doi.org/10.1016/B978-0-323-29965-7.00031-22023年12月12日登录
5. 格雷森2020匹配Glass海豹热扩展Mo-Sci可用地址 :https://mo-sci.com/matching-cte-in-glass-seals/2023年8月10日登录
6. 莫西密封玻璃可用地址 :https://mo-sci.com/products/sealing-glass/2023年8月10日登录

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