由- K技术2023年8月8日艾梅Molineux看过的
扫描探针显微镜(SPM)是一组先进的表面分析方法。最近的进步SPM的金属、聚合物、绝缘和半导体材料主要是由于原子力显微镜(AFM)的发展。亚博网站下载
AFM是一个功能强大的设备获取信息在纳米尺度上对材料表面结构。它可以用来衡量无机材料,包括半导体和金属,以及有机材料和生物材料。亚博网站下载
AFM模式和成像方法被广泛用于研究纳米级设备的制造。AFM涉及到样品表面被扫描探针尖端和组成的微型悬臂。
当使用AFM接触模式成像,尖先端也在不断地接触表面,而对于开发模式,在间歇接触表面。
进行成像使用AFM high-aspect-ratio纳米结构在纳米计量与直墙和锐利的边缘复杂是因为大多数商用的锥形几何和力学性能技巧。
纳米线改善AFM探针的功能
一维(1 d)半导体纳米结构通常被定义为线性结构的直径小于100纳米,纳米管和纳米线等。由于其独特的化学和物理性质,他们持有巨大的潜力作为构建块的下一代电子和光电nanodevices。
high-aspect-ratio纳米计量的结构,氮化镓(GaN)纳米线嵌入探针改善AFM成像分辨率。
这些纳米线与其他工具也允许AFM的组合,包括近场扫描光学显微镜(NSOM)和扫描隧道显微镜(STM)提供一个通用的多用途调查。这种组合可以用来提高显微镜和光刻的方法。
AFM光刻小贴士:激光扫描+光谱
开创性的研究涉及氮化镓纳米线和激光利用AFM探针的半导体模式提供了更重要的机会来记录材料的地形和荧光信号。
Busani研究小组在新墨西哥大学(阿尔伯克基海里)正在开展研究一维纳米材料,近场亚博网站下载光谱学nanomembranes nanolasers,和他们融入多功能设备。
研究小组的多学科研究包括硅光子学和光电和应用程序数据的科学方法在半导体的研究。亚博老虎机网登录
该组织调查和制造探测器和激光用于光谱表面计量subnanometer内联光刻。
他们已经研发出一种AFM技巧包括氮化镓纳米线和激光安装在探测器来促进传统激光扫描以及光谱记录材料的荧光信号,如图1所示。
图1所示。Busani研究小组的AFM探针半导体模式,配备了一个硝酸铝激光纳米线作为光刻,允许执行传统的激光扫描以及光谱学来记录材料的荧光信号。图片来源:Busani研究小组
Busani研究集团结合了AFM和激光探测物理过程和分子力量。
当使用AFM探针测量的地形表面,外部激光可以激活通过一个集成的纳米线波导使成为激光源。这允许它用于辐射材料表面。
随后AFM探针收集光波导集成在硅探测器,纳米线的连接。
模式的过程使用场发射扫描探针光刻(FE-SPL),这是一个高分辨率纳米加工技术。这个过程是基于电子的发射ultrasharp提示位置附近的一个示例(距离不到100海里),与发射电子暴露一个超薄薄膜。
实时研究小组进行纳米加工、写作模式,以及蒙面光刻对准。使用的纳米线作为光刻同时和双光刻提示促进组合使用光线发射或电子。
隔振
地面振动处理纳米结构是至关重要的。Busani解释说,“我们需要一个防振系统有两个原因:我们的激光光学、和我们的AFM系统整合与外部激光源。样品被暴露在激光束在AFM需要光稳定。”
Busani的研究小组介绍negative-stiffness振动器在2022年1月。这些都是由- K技术、扫描探针显微镜的OEM供应商制造商,微观硬度测试人员,和其他振动仪器、设备,如图2所示。app亚博体育
图2。- K技术negative-stiffness隔离器的示意图。图片来源:- K技术
这些振动器有一个小的足迹和不需要压缩空气或电力,允许敏感仪器位于无论他们可能需要。没有汽车,钱伯斯,或泵,导致没有需要维护没有磨损。他们运行在一个完全被动的机械模式。
Negative-stiffness光电隔离器达到一个高水平的隔离在许多方向和提供的灵活性定义裁剪共振频率为0.5赫兹垂直和水平(有些版本1.5赫兹的频率水平)。
考虑一个隔离系统0.5赫兹固有频率,隔离起价0.7赫兹和提高随着振动频率的增加。固有频率通常是用来描述系统的性能。
工程副总裁埃里克•龙格- K技术,解释说,“垂直运动隔离提供了一个硬弹簧支持重量负荷,再加上negative-stiffness机制。”
净垂直刚度是由很低而不影响弹簧的静态承载能力。梁柱连接提供水平运动与垂直运动系列隔离器隔离,和梁柱的表现就像一个弹簧结合negative-stiffness机制。结果是一个紧凑的被动隔离器可以非常低的垂直和水平自然频率和高内部结构的频率。”
工程副总裁埃里克龙格- K技术
Negative-stiffness光电隔离器有很高的性能,测量使用传递率曲线。振动传递率措施的振动通过隔离器相对于输入振动传播。
当negative-stiffness光电隔离器调整到0.5赫兹,他们达到大约93%隔离效率2赫兹,99%在5赫兹,99.7%在10赫兹。
“negative-stiffness隔振用于激光设置以减少振动和动,”Busani解释道。
“稳定样本是至关重要的减少噪音。隔离器给更好的程序排列的技巧,让我们减少测试时间。Negative-stiffness隔振提供了探测器的精密操作,所需的支持”他总结道。
确认
生产形式材料最初由吉姆·麦克亚博网站下载马洪斑马通信。
这些信息已经采购,审核并改编自- K提供的材料技术。亚博网站下载
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