测量透明导值薄膜

透明传导氧化物(TCO)是一种光学透明电导材料薄膜太阳电池、平板显示器和触屏常用作顶电极锌氧化物(ZnO)作为TCO使用大有希望

图1SE-2000图像感知:Semlab半导体物理实验室

上头SE-2000工具从Semlab归并等离子度量系统,该系统独有测量能力,从IR中位到UV不等

本工具强选用工业尺度计量解决方案计算层厚度,并用非损耗方式计算总值层的电光特性

度量法

文章使用波长范围为250纳米至16米的光学椭圆表进行研究

亚博网站下载层厚度和层材料的光散度通过图层结构建模确定,并随后对模型参数相匹配模拟光谱与测量参数相匹配

图2透视等离子原理图像感知:Semlab半导体物理实验室

使用案例

原子层测量实例沉积,铝覆盖ZnO层增加 Al主要提高n型ZnO的传导性

图3三种不同样本类型模式结构:A)Si基底AZO层,2.5% Al,250°C,B)AZO层玻璃基底3% Al,225°C图像感知:Semlab半导体物理实验室

原子层托管 Al:ZNO图层

多层结构显示模型强健度和广波长测量需求,特别是在C类中SiEPI层AZO层并基础化

Eli-EPI模型能够将SiEPI与AZO层区分开来,并分解SiEPI层AZO/Si-EPI/Si基底样本类型

4PP等电量无法拆分层,因为表阻量结合全栈电性

图4a-c显示,可使用约260°C沉积温度和约2.5%目标AL富集度获取最大阴道富集度

图4d显示两个数据集(SE+4PP)的关联性,显示高关联系数0.993

图4倾斜集中色图函数过程温度和目标 Al集中度[(a)-(c)]和表阻关联图图像感知:Semlab半导体物理实验室

样集参数匹配提供分散数据,显示对过程参数变化的敏感度Al%感知度显而易见

图5折余指数a和消亡系数bA型样本225摄氏过程温度Al%感知度显而易见图像感知:Semlab半导体物理实验室

亚博网站下载素材结构

上方方法也可以应用到其他亚博网站下载TCO素材ium-zic-cxide等西或玻璃基底.

引用

1. László Makaiet al破解仪器和产品:原子层悬浮 Al:ZnO层分光测量
2. 亚博老虎机网登录Anderson Janotti等人,IOPscience中“氧化锌半导体基础”,2009年10月22日,doi:10.188/0034-4885/126501

亚博网站下载这些信息取自Semlab半导体物理实验室提供的材料并经过审查修改

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