背散射电子和x射线(咳嗽)成像方法的扫描电子显微镜(SEM)获得的数据来自两个x射线传感器,如硅漂移探测器,同时和背散射电子(BSE)传感器,使用一个传感器方案。
合并后的信号生成高分辨率彩色图像包含晶体,地形,和成分数据,可以使用低停顿时间获得的成像系统在“标准”SEM成像条件下操作。
咳嗽成像的例子
左上:导航不同金属钎联合使用咳嗽。20.1 kV, nA。在15秒。左下:高分辨率咳嗽电子芯片的形象。1.5 20 kV, nA, 2 k的形象在10秒。正确的咳嗽整个12毫米直径的地图样本存根20 kV, 2 nA,在30分钟。图片来源:牛津仪器NanoAnalysis
在扫描电镜成像技术
与二次电子成像
历史上,最受欢迎的方式是二次电子(SE)成像。该技术涉及到低能电子的检测(~ 50 eV)被逐出样本由于非弹性样品表面之间的相互作用和主光束。
Everhart-Thornley探测器由一个积极偏见法拉第笼,光电倍增管和闪烁体检测电子。
产生信号来源于样品表面附近。主光束的入射角远离其正常位置,逃避散装材料的电子数量增加。这导致SE图像包含的信息对当地地形样本。
:二次电子(绿色)附近生成样本表面和生产。底部:灰度图像包含的信息样本地形。20 kV, 1 nA, 15秒。图片来源:牛津仪器NanoAnalysis
与背散射电子成像
背散射电子(BSE)成像检测电子来自深处的样本。
疯牛病的电子能量更高,因为他们来自弹性样本和主梁之间的相互作用,从而改变入射电子的轨道,导致他们从样品表面被分散。
由于样本的远程位置导致很低的信号,测量这些电子的SE探测器不成功。
疯牛病探测器通常涉及半导体pn安排直接低于最大信号的扫描电镜物镜收集。
散射作用在样品生产疯牛病信号明显更健壮更重的元素组成。因此,BSE图像包含的信息关于样品组成、重阶段出现光明。
疯牛病探测器的基本操作提供了原子序数的对比。然而,安排传感器分成两个或两个以上段允许每个传感器的信号组合提供地形信息。
:背散射电子(红色)生成从下面样品表面并产生底:灰度图像包含的信息样本组成。20 kV, 1 nA, 15秒。图片来源:牛津仪器NanoAnalysis
成像与咳嗽
咳嗽是疯牛病和x射线的组合传感器,直接放置在物镜。
x射线传感器通常是硅漂移探测器(sdd),这些是用来测量特征x射线扫描电镜样品辐照过程中产生的电子束以同样的方式作为一个EDS探测器。
使用软件算法处理收集到的x射线信号自动识别当前的元素。随后这些元素分配与疯牛病探测器的信号颜色分层的最终图像。
比较咳嗽成像系统本身或疯牛病成像,前者提供了更多的信息关于样品成分和元素分布在相同的采集时间和使用相同的操作条件。
与EDS检测器、咳嗽成像系统有异常高的立体角传感器。这允许x光信息的收集与典型的成像光束正常成像速度和电流(~ 1 nA)。
自从SDD物镜附近的定位,从样本地形遮蔽效应消除和抽样调查可以进行更广泛的工作距离。
:背散射电子(红色)和x射线检测到(蓝色)和联合生产底:样本组成的彩色图像。20 kV, 1 nA, 15秒。图片来源:牛津仪器NanoAnalysis
这些信息已经采购,审核并改编自牛津仪器NanoAnalysis提供的材料。亚博网站下载
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