光敏树脂,也称为光刻胶,是一种材料,展品的改变其属性在暴露于紫外线。这导致高分辨率精密加工特性,允许etching-resistant薄膜的形成在很短的时间。
光致抗蚀剂发现广泛应用在电子零件的制造,印刷电路板布线,印刷制版。
利用短时固化紫外粘合剂在广泛的领域,包括通用和光学电子、医疗应用、玻璃艺术和建筑。
在开发新的光敏树脂,固化反应的热量是一个至关重要的特点,必须评估。
人们普遍认为在光固化条件,比如曝光波长,辐照强度、反应温度,影响etching-resistant薄膜的形成。因此,有必要考虑各种养护条件达到最佳的抗腐蚀薄膜。
一个差示扫描量热计(DSC)和紫外线照射单元与光化学反应微分计(PDC)可以用来测量固化反应实时热当暴露于紫外线照射。
光化学反应微分量热计(PDC)是如何工作的?
采用PDC结合DSC,这之中样本与紫外线来自紫外线光源通过导光管。光辐照附件安装,导光管插入从上面的夹克,让光照射样品通过石英盖和参考。
造成的温度上升的热辐照光可以被采用的冷却单元,即电子冷却装置或auto-liquid氮冷却装置。这允许的测量温度的等温条件。
图1:光化学反应微分量热计。图片来源:日立高科技分析科学亚博老虎机网登录
图2:PDC概念图。图片来源:日立高科技分析科学亚博老虎机网登录
所提供的资料PDC
PDC能够确定的热量在固化反应和固化速度在不同曝光波长,辐照强度、照射时间。图1提供了不同辐照强度的辐射测量的结果,如1、2、10、20、100、500 mW /厘米2。
放热加热会增加的数量随着辐照强度上升,导致增加固化反应。固化反应的速度取决于放热峰的速度。
图1:辐照强度的差异。图片来源:日立高科技分析科学亚博老虎机网登录
使用PDC的优点
- 高通量紫外光源
- 辐照强度高达500 mW /厘米2
- 辐照强度很容易可调
- 为正常的分析仪器封面一样
- 类似的操作过程和再现性改善
- 波长选择性过滤
- 254、313、365、405和436海里
- 容易改变的过滤器
- 通用DSC:轻松活当光线照射不执行。
测量的例子与PDC
1毫克的PDC测量结果干膜光阻剂,利用在蚀刻印刷电路板的过程,现介绍如下。
调查热值的差异由于固化,在各种条件下测量辐射光的波长,辐照强度和固化反应温度。光源使用Hg /氙灯,和波长的辐射光波长选择滤波器。
图2描绘了DSC测量结果不同辐照强度的辐射波长365纳米。辐照是一分钟后测量开始,和四个照射强度使用,即1、5、10、50 mW /厘米2。
光固化反应生成的放热热辐照后,反应终止后约6分钟。
通常情况下,辐照强度越高,反应产生热量的数量就越大。同样的,当辐照强度很低,固化反应完全没有进展,降低聚合度。
图2:DSC曲线对干膜在不同辐射强度辐射波长:356纳米测量的温度:25°C。图片来源:日立高科技分析科学亚博老虎机网登录
峰面积的集成软件是利用生成积分曲线如图3所示根据给出的测量结果如图2所示。
纵轴将100%的总热值,和高峰的比例每个时期。很明显从更高的辐照强度的结果导致一个更重要的积分曲线的初始上升和更快的固化反应速率。
图3:发热值的积分曲线辐射波长:356纳米测量的温度:25°C。图片来源:日立高科技分析科学亚博老虎机网登录
不同辐射波长的DSC测量结果呈现在图4中,辐照强度的5兆瓦/厘米2,波长选择从五个干扰过滤器。
测量样品的峰值明显大辐射波长365或405海里的时候,这意味着波长显著影响反应速率。
选择合适的辐射波长照射固化在测量是至关重要的。
图4:DSC曲线对干膜在不同辐射波长辐射强度:5 mW /厘米2测量温度:25°C。图片来源:日立高科技分析科学亚博老虎机网登录
图5描述了DSC测量结果在不同的温度。结果表明,较高的测量温度增加发热值和加快聚合反应。
图5:DSC曲线对干膜在4种不同的测量温度辐射强度:5 mW /厘米2辐射波长:356海里。图片来源:日立高科技分析科学亚博老虎机网登录
规范
来源:日立高科技分析科学亚博老虎机网登录
| 。 |
。 |
| 模型 |
PDC-8 |
| 温度范围 |
环境到150°C |
| 大气 |
空气、惰性气体 |
| 波长范围 |
240 - 550纳米 |
| 波长选择 |
254313365405和436海里 |
| 辐照强度 |
马克斯。500 mW /厘米2 |
| 辐照强度调整 |
0到100% |
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