分析地质和地外物质的过程,通过扫描电子显微镜(SEM)图像和能量色散谱(EDS)映射通常需要使用高的放大。亚博网站下载
这种方法是必要的检查微尺度特性和获得一个代表区域的样本,同时最小化的影响晶粒尺寸的变化和相位分布。
的一个关键特性顶点™是蒙太奇大面积映射,它允许详细的大面积成像和EDS,以及电子背散射衍射(EBSD)映射。这是通过利用运动阶段收集高分辨率图像和地图通过网格模式大表面积的样本,然后缝合在一起来创建一个蒙太奇。
实验
演示的功能蒙太奇大面积顶点映射特性,角闪石的2.5 x 1.5厘米部分玄武岩斑岩被选为样本。这个标本显示斑状结构,本文嵌入到一个矩阵的斜长石、斜方辉石类,Fe-Ti氧化物和磷灰石。
收集到的数据是利用场发射扫描电镜配备一个EDAX辛烷精英超级硅漂移探测器。EDS地图在24 x 27网格生成的整个部分,然后自动对齐和缝合创建6144 x 5619像素蒙太奇的地图,使用顶点蒙太奇大面积映射特性(图1)。
图1所示。蒙太奇EDS的地图整个2.5 x 1.5厘米角闪石玄武岩斑岩部分获得使用顶点2.0软件。图片来源:EDAX。
顶点的蒙太奇大面积映射特性旨在帮助用户轻松地创建蒙太奇的地图使用一个简单的安装向导。它指导用户把舞台搬到起始位置收集左上的形象,然后到结束位置收集右下方的形象。一旦收集到的图像,字段的数量自动计算和可视化表示的蒙太奇布局网格格式。
位置标志,位于左上角和右下角的图片,用户可以调整设置开始和结束的位置。由于这个改变,字段的数量重新计算。预览图像特性,此外,扫描每个字段的剪辑和编辑图像。
用户可以调整开始和结束位置,和之前预览对齐映射过程。用户还可以调整矩阵大小、停留时间、帧完成安装向导,估计时间,并相应地更新所需的磁盘空间。
图2。安装向导的蒙太奇大面积映射。绿色圆圈符号位置标记,可以移动调整字段的数量显示在右边的向导。图片来源:EDAX。
顶点的蒙太奇大面积映射特性类似于标准EDS映射。用户选择锁住之前的元素清单收购或让软件确定元素列表自动基于预览频谱。预览谱是基于第一个字段的蒙太奇,和元素列表可以根据需要修改后的光谱收集。
在审查模式中,用户可以查看自动缝合蒙太奇地图和单个字段。用户还可以导出全分辨率数据图像通过发送到文件夹功能。此外,蒙太奇地图可以重建地图添加或删除元素。
同轴度的图像的边缘特征和地图对邻居是一个基本要求。SEM图像的旋转和放大参考扫描是主要考虑蒙太奇图像对齐。
透射电子显微镜方格网样本用于调整对齐。蒙太奇的扫描电镜图像,包括多个方形网格,摄于2 x 2场模式之前和之后的每一个微调阶段评估对齐。
的方形网格,沿着轴的四个象限,即个体之间的界限在蒙太奇图像,可以分析确定任何补偿。这些补偿可以作为一个参考点进行调整扫描旋转和放大的设置。
当梁轴不准确与阶段运动轴,沿着x轴运动也会造成轴位置的变化。这可以观察到蒙太奇的正方形网格在图3和图3 b。调整旋转扫描是必要的,直到差异(图3 c)来解决。
调整阶段和梁之间的旋转抵消服务通常是由一个熟练的技师,但一些扫描电镜软件还包括一个旋转扫描功能,用户可以调整。扫描后旋转调整,有必要调整放大参考宽度和高度值在先端或扫描发生器软件舞台动作正是一个字段在X和Y方向。
这个过程可能首先解决最需要调整的方向。帮助识别和修复轻微的偏移量,测量网格沿轴的长度在屏幕上。同样值得注意的是,SEM图像宽度和阶段运动可能不是完全校准,并抵消可能随放大。如果舞台动作太短或太远,参考价值可能太小或大。
图3 d-3f说明这样一个调整。EDS映射,比例尺的SEM不一定是校准的阶段。放大参考调整EDS一侧用于弥补X / Y缩放。然而,对于大面积成像扫描电镜,比例尺校准仍然是必要的。
调整扫描旋转和放大参考互动,可能需要重复多次,直到最优排列的蒙太奇。
图3。蒙太奇图像对齐。扫描旋转角度在a、b和c是3º,1º,分别和1.6º。1.6º代表了一个很好的扫描旋转校准图中没有不匹配。d)阶段运动过于自网格在Y方向上沿水平轴严重萎缩在Y方向上。e)减少引用高度值后,台上一个字段在Y方向上移动。舞台仍然有点远在X方向上移动的水平测量网格沿垂直轴略短于垂直的一面。f)放大参考调整完成后略微减少宽度值的引用。图片来源:EDAX。
可以调整重点与工作距离或Z运动阶段,但建议保持一个恒定的工作距离在整个成像/分析区域来减少错误。为此,样品应该抛光平面和安装阶段平行运动。
是必要的,以确保样品的x - y运动或阶段是垂直于声束轴线。倾斜,向量垂直于样品的表面,应评估。
在这个例子中,三个在舞台的边缘场发射扫描电镜的选择,和舞台坐标(x, y, z) P0= (-31.5413,17.5088,60.4446),P1= (2.7049,-36.4853,60.4993),P2=(32.7951,14.9375,60.3005)(毫米)记录。
每个职位的Z是由使用Z运动阶段只专注一个球形污垢粒子直径大约500海里在舞台上为20000 X放大。里奇下面描述的方法et al。1,倾斜:
方程1。
确定,最高0.2毫米的Z轴的变化观察,舞台指示略微倾斜0.2度的取向ϕ= 46.9度。重要的是要注意,当一个平行样品不是安装阶段,调整旋转和倾斜可以确保梁表面是垂直的。
结论
顶点蒙太奇大面积映射提供强大的大面积映射功能。此外,他们说明同轴度对无缝蒙太奇是至关重要的。角闪石玄武岩斑岩部分有各种本文不同颗粒大小和分布。一些引人注目的谷物跨度几乎整个视场低倍镜下。
对于这种类型的应用程序,可以使用蒙太奇大面积映射选项来映射一个代表性的区域,从而导致一个更精确计算的大部分组成。
参考
- N.W.M.里奇等法医化学20 (2020)100252
这些信息已经采购,审核,改编自EDAX提供的材料。亚博网站下载
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