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热处理黄金薄膜温度探测器

薄膜电阻温度探测器是薄片状的设备,通常由铂和用于温度测量。这可能是因为温度的增加成正比铂电阻的增加。因此,这种线性关系可以建模和应用可靠地测量温度。

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图片来源:Iaremenko Sergii / Shutterstock.com

薄膜材料的纳米薄层可以分数几微米厚。薄膜材料是用于半导体亚博网站下载器件、集成电路、太阳能电池,音频和视频系统,光盘,计算机芯片,无线通信、电信、新兴的多功能涂料、切割技术,等等。

亚博网站下载材料显示类似的模式可以使用相同的功能;然而,系统的稳定性、准确性和可重复性非常重要。

黄金在薄膜材料的使用亚博网站下载

由于其独特的性能,黄金薄膜最近的兴趣企业和研究人员,特别是对光学应用。他们是有吸引力的,因为他们的力量,延展性,惰性氧化,灵活性,和能力进行电力和热能。黄金也是一种理想的材料薄膜由于其能够忍受巨大的温度变化。

金薄膜金属往往被视为最重要的电化学和光学传感器信号放大组件的应用程序。

值得注意的是发表的一项研究的观察加拿大物理学杂志的报道,当金薄膜的厚度超过临界值,薄膜的电阻率急剧下降和方法大部分黄金的阻力。这是生产过程中必不可少的因素要考虑。

为什么热处理对薄膜进行了吗

薄膜结构的微小结构和小维施加额外的要求电影的特点。薄膜的微观结构,它是一个函数的沉积过程和相关的参数,以及后处理,在定义的行为和性能是至关重要的电影。

热处理,通常的办法是改善金属和合金的结构和力学性能。几种类型的热处理存在和提供不同的结果,不同的金属和合金。热处理会影响显微组织、硬度、结晶度、晶粒大小、质地、粗糙度、电阻率和残余应力。

热处理后,技术,如拉曼光谱、扫描电镜、x射线衍射、原子力显微镜可以用于研究结构,形态和表面粗糙度的样品。

热处理的应用金薄膜电阻温度探测器

对于黄金,最近的一项研究发表在杂志上eTransportation专注于黄金薄膜温度探测器,在管理中发挥核心作用产生的热量在质子交换膜燃料电池。

质子交换膜燃料电池已成为其中一个最有前途的前景可再生能源转换设备,近年来由于其能量密度高,零碳排放。商业化的耐久性是必要的,热的质量管理的生命周期影响燃料电池。

研究人员旨在制造黄金薄膜,然后通过热处理提高其属性。

首先,研究人员建立了一个基于微机电系统的金薄膜电阻温度探测器。然后低温热处理是用来提高电阻温度探测器的性能,这有助于实现良好的线性和低的热滞后。

最后,黄金薄膜用作电阻温度探测器测量温度的质子交换膜燃料电池阴极催化剂层在不同电流负载和相对湿度。

他们的研究结果显示,当前加载温度的变化呈正相关。电流越大,产生的焦耳和不可逆转的热量就越大。同时,阳极和阴极相对湿度对温度影响更复杂的进化,这取决于水浓度电极网站,由相对湿度控制不仅还氧还原反应。洪水发生在电极中的含水量太高了。

在另一个年长的研究,发表在真空科学与技术学报B:微电子学和纳米亚博老虎机网登录结构,研究人员探索金薄膜的热和长期稳定。他们调查的影响post-deposition热处理对黄金薄膜应力相关的结构和微观结构。

下面的电影表现出拉伸应力和100 - 150摄氏度,和气急败坏的电影没有显示出明显的晶粒尺寸的变化或紧张。晶粒尺寸的增加和一个线性拉伸应力的增加退火后被蒸发和电镀的电影在温度高于沉积温度。此外,广泛的空洞的存在导致电镀电影中压力随时间演化,这降低了as-deposited压力但不热稳定性。

使用金薄膜的挑战

遇到一些困难在整个制造业和正确处理工艺包括维持纯薄膜和保持它在一个适当的热处理退火条件的材料,以便它不会改变。亚博网站下载此外,该薄膜必须存储在一个3环境避免化学改变。

总之,黄金薄膜非常理想的用作温度探测器微器件。这是由许多有益的属性如灵活性、可塑性、力量、惰性氧化,进行电力和热能的能力。热处理也被证明是一种增强的金薄膜的性质。这将继续扩大新技术的应用。

引用和进一步阅读

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  • 哈佛大学

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