复合半导体的功能取决于层的结构。但是，晶圆像蛋糕一样将晶片切成一半，以形象化内部发生的事情。
值得庆幸的是，非破坏性计量技术X射线衍射法（XRD）在这种情况下，可用于生成准确，确切的结构计量学。超出摇摆曲线的高级功能对于外延晶片的生产变得越来越重要。
复合半导体晶圆生产随着社会致力于实现这些材料的全部潜力，这些材料具有显着的可持续性优势。亚博网站下载可以通过使用电源转换器或LED中的复合半导体来节省大量的能量。
随着制造质量的提高，复合半导体的成本降低了，从而使其可用于国际出售和提供的更多电子设备。
Malvern Panalytical的XRD产品
- 可以升级MRD XL的研发到FAB配置
- SEC/宝石合规性
- 干净的ISO 4可用
- 提供具有自动化的大型应用程序信封
- EPI经验的全球协助
复合半导体行业的成熟意味着，对于分析XRD设备，使用这些设备的设备可以使用XRD技术来监测这些设备的外延生长。app亚博体育
方法从实验室转移到晶圆厂
该设备在app亚博体育典型的FAB中的性能标准与大多数研究实验室的晶圆厂不同。所需质量基准的增加通常是使差异的原因。
在ISO和联邦分类之后，几乎所有CS Fab为其外延部门都保持了洁净室环境。为了确保生产线遵守ISO洁净室程序并达到其产量目标，Fabs必须实施最新的半导体设备和制造国际标准（SEMI）标准。app亚博体育
与此相关的是，自动化变得越来越普遍，鉴于这些部门的规模不断扩大，这是可以理解的。自动解决方案减少了对人类相互作用和污染的需求，使其成为半导体生产中的重要资产。
可能需要进行大量初始投资，以建立使用必要的工具，技术和质量控制的工厂，以确保其正常运行。这样做的成本可能会带来自己的挑战。
与制造地点相比，位于研发站点的计量工具的基础架构不同。图片来源：Malvern Analytical
幸运的是，传播资本支出可以完成。复合半导体公司有必要随着发展过程的发展，从实验室技术转变为Fab操作。
鉴于负责芯片制造过程中使用工具组合的人可以使用各种可能性，因此找到最佳决策是一个至关重要的，复杂的挑战。必须了解每个工具获得最佳功能并支持从研究到生产的无缝尺度所需的变量。该工具准时到达也很重要。
通过使Malvernation的机器未来，Malvern Parlytical可以使市场的需求和开发项目在经验多年的基础上保持领先地位。图片来源：Malvern Analytical
Malvern Panalytilation意识到复合半导体Epi晶圆的需求生产商，并且产品对其XRD溶液具有。这一切都开始的地方是外延晶片的结构构成的复杂，准确和精确的表征。实际上，这一切都始于X'Pert3 MRD XL。
MRD XL是半导体制造商X射线散射应用程序的全球领导者，并且具有多功能且可靠。该公司很荣幸能够拥有在旅途中的每个阶段，从开发到生产的各个阶段，借鉴该领域的四十年经验的系统。
Malvern确保在从研究到质量控制的各个过程阶段工作的实验室和工厂可以访问高性能工具和软件包。MRD XL是一个完全模块化的设计。
MRD XL由一个包含测量室的基本模块和提供自动化能力的前端。这使实验室功能像平面内测量值一样可在Fab地板上可用，并集成到标准配方中。图片来源：Malvern Analytical
通过使用此策略，企业可以首先获取研发机器的核心机器，然后在运营需要时添加Fab组件。该方法放弃了对“固定”解决方案的大量初始投资，该解决方案具有超出最初要求的能力。
最好购买新的硬件和软件组件，这些组件在XRD技术或生产需求发生变化时易于与MRD XL结合使用，例如当它们需要变得更加自动化时。
一个重要的优势是可以适应产品及其制造商扩展的计量仪器。对于中小型企业，在单台机器上生产多个产品线的专业晶圆厂以及使产品线需要越来越复杂的计量，这是正确的。
劳动力密集是要手动将晶圆放入计量设备，而不是带有预先一致器的机器人的可再现。app亚博体育图片来源：Malvern Analytical
在投资MRD XL时，这些公司可能会在研究，试点规模的制造，全尺度生产和背部之间进行切换。由于MRD XL的容量增长，制造经理在决定其资本支出预算和时间表时具有更大的自由度。
自动化在实现理想的洁净室状态中起着重要作用。随着机器人能力的发展，相关半标准的重要性无疑会增加，并有可能在没有动手的人类干预的情况下达到“灯出来”的晶圆厂。
将遵循更多规格，包括分别控制主机或载体和设备之间的通信的半E5（SECS-II）和E30（GEM）标准。app亚博体育这些连接允许自定义测量数据传输，对于任何半导体FAB基础架构的效率至关重要。
Malvern Panalytical为半导体和电子行业提供了多种计量工具，例如用于CMP Slurries的粒子表征设备，例如Mastersizer。app亚博体育图片来源：Malvern Analytical
用于晶片分析的上级XRD计量学不足以提供上级半导体材料和设备。亚博网站下载对于底物抛光和加工期间的化学机械抛光（CMP），必须使用一致，高质量和可靠的方法在半标准型晶圆厂中进行。
晶圆表面需要适当的平面性，以确保所有沉积的层都准确地坐在彼此之间。按下按钮的按下，粒度尺寸的产品主体和Zetasizer提供了精确的浆液规范管理。
在任何快速发展的业务中，决策者都必须考虑未来或找到可靠的合作伙伴，并具有为他们做的技能。对于与Malvern合作的芯片制造商和开发人员而言，这不是问题，因为他们不必担心将钱花在实验室到投资设备上，这些设备很快将被更高级的型号取代。app亚博体育
Malvern的解决方案基于多年的经验和丰富的知识，并且已成功使用了十多年。
Malvern Panalytical了解从前端到电子组件的完整过程，并提供了更多的解决方案，此处没有提及。图片来源：Malvern Analytical
复合半导体的进步，例如灯光厂，转换为较大的晶圆尺寸以及复合半导体中超晶格的复杂性上升，已经在不久的将来。
越来越难以预测其他进一步的进步。但是，Malvern致力于改进和升级其硬件和软件，以确保这些解决方案及其客户始终准备解决并克服他们的下一个挑战。
在实验室到投资流程的投资涉及资本支出。Malvern Panalytical提供了适应性的XRD解决方案，可以扩展以满足企业的需求。
此信息已从Malvern Panalytical提供的材料中采购，审查和改编。亚博网站下载
有关此消息来源的更多信息，请访问Malvern Analytical。