监测清洁室中的空气传播分子污染物（AMC）

洁净室是工业研究或生产必需条件的最清洁条件的设施。鉴于洁净室的设计旨在最大化环境敏感材料（微电子）和工艺（晶圆制造）的生产率和产量，因此它们在微观和纳米技术生产中至关重要亚博网站下载¹。

卡拉·弗雷格（Carla Frege），瑞士托夫沃克（Tofwerk）。图片来源：Tofwerk

因此，很明显，洁净室空气传播的分子污染物（AMC）监测至关重要。

多年来，半导体行业中需要在半导体行业中保持清洁度的典范程度，它通过ISO 14644-1标准制作了清洁室的分类，这些类别是根据允许的空气，范围允许的颗粒数量和大小的类别yabo214从ISO 1到ISO 9。

因此，通过测量确保高生产率和产量的高产量变得至关重要空气粒子前体。

实验装置

在微技术设施中，使用VOCUS CI-TOF来监视两个清洁室：ISO 6和ISO8。从每个清洁室的两个不同点取空气样品，以制作四个抽样点，如图1所示。

图1。两个洁净室中采样点的示意图。点A和B位于洁净室1（ISO 8）中，而洁净室2（ISO 6）中的C点C和D点。图片来源：Tofwerk

洁净室AMC监控结果

通过快速响应时间促进了每个抽样点中空气质量的立即评估vocus ci-tof。因此，这意味着可以在仅几秒钟内并以空间精度进行过程故障检测或检测潜在污染源的检测。

如图2所示，丙酮，乙酸和环戊酮的浓度在两个洁净室的四个采样点中描绘出来（如图1所指）。在所有采样点中，都发现丙酮浓度是恒定的，而环烷则突出了整个洁净室的浓度差异：在清洁室1中发现了较高的浓度，与其ISO 8类一致。

乙酸浓度不仅在房间之间，而且还采样点显示，表明洁净室区域内的通风或过程存在差异。

图2。从洁净室中的每个点进行采样。环戊酮（黑色）浓度的趋势显示两个洁净室之间存在明显的差异，而乙酸（红色）显示每个清洁室内的位置浓度差异。最后，丙酮（蓝色）的浓度独立于采样点。图片来源：Tofwerk

VOCUS CI-TOF的高多功能性和敏感性促进了同时监测不同类别的AMC。如图3所示，在抽样点B中捕获的光谱显示出一些例证检测的分子。

图3。来自采样点B的光谱B。在低（蓝色），中（橙色）和高（绿色）质量范围内发现的分子示例。暂定分配的分子：乙酸（CH₃COOH），氟乙醛醛（C₂H₃fo₂），硝酸（HNO₃），三氟乙酰氨酰胺（C₂H₂F₃否），乙酰丙二羧酸（C₄H₂o₄），马来酸（C₄H₄o₄），pfas（c）₅F₁₀H₂o₂和c₆H₁₀H₂o₂）。图片来源：Tofwerk

参考

1. Den等人，《电化学学会杂志》 153（2）：G149-G159，2005，doi：10.1149/1.2147286

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