前视频中解释了光顶或光学台的阻尼和隔离之间的区别。在下面的视频中,杰克概述了各种振动隔离解决方案,例如常规的万活活塞空气隔离器或MaxDamp隔离器,以及每个均匀的应用。
TMC的gimbal活塞®空气隔离器通常是标准清洁板桌和清洁台光学上衣。在并排测试中,万活塞定期优于替代空气隔离器。
它在所有轴上都提供了出色的低频振动隔离,即使激发水平极低,也可以保留其性能特征。阳式活塞使用专有的缩放技术来稳定顶部重量,并迅速消散桌面破坏。
TMC的饰品活塞的切割图像®隔离器如下所示。它有两个空气室,而不是一个。一个微小的光圈将它们连接在一起。当活塞上下移动时,空气被推动穿过该孔,从而对有效载荷产生阻尼效果。
这种阻尼对于大活塞位移特别有效,对于小型位移效果较低。这使有效载荷能够快速安定下来,而无需牺牲小振动振动隔离功能。
图片来源:TMC振动控制
TMC的MaxDamp隔离器采用独特的技术:多轴粘性液体阻尼(专利号5,918,862)。对于需要它的应用,这些隔离器可以将阻尼增加到接近临界水平。
为了运输晶圆,半导体检查设备经常使用非常快速的阶段。app亚博体育MaxDamp隔离器使有效载荷能够在舞台运动后迅速安定下来,同时仍提供出色的振动隔离。
贴片夹具,体外受精,共聚焦显微镜和光学显微镜都采用了牙龈活塞隔离器的清洁板。MAXDAMP隔离器有更快的安装时间用于更苛刻的应用程序。
MaxDamp隔离器要花一半的时间,只需晒黑活塞空气隔离器沉降。这适用于机器人技术,使用移动阶段的应用程序或任何涉及从上层转移的力的应用程序。
该信息已从TMC振动控制提供的材料中采购,审查和调整。亚博网站下载
有关此消息来源的更多信息,请访问TMC振动控制。