在进行相移激光干涉仪测量时，振动可能会产生许多重大挑战。当今的高级干涉仪具有精确度纳米级级别的能力。
相反，如果部署在高度动态的制造环境中，噪声水平很高，从而导致大量振动，这使它们容易受到错误。
为什么振动很重要
进行测量容易振动的环境通常会出现条纹印刷错误 - 这可能会导致数据不良或不可行的信号获取。
有一些解决方案试图减轻有害环境，以减少不良影响的影响。例如，设施有时可能会进行翻新，以保证“计量学”级环境。
用于规避负面影响的另一种技术是在一段时间内进行大量重复测量，并找到平均值。但是，这种方法可能是时间密集型的，并且有效性有限。
QPSI技术在恶劣的环境中启用可靠的数据
高功率激光源可能会成为抗振动解决方案的一部分，因为它们提供了足够的功率，可以随着额外的光线而更快地关闭相机。这需要更少的时间，从而导致数据获取速度更快，从而降低了对振动的敏感性。
近年来，Zygo努力消除振动的负面影响，这导致了可以在不利制造环境中部署的采集技术解决方案的出现。
Zygo还为其干涉仪提供了专有的高功率Hene激光器，还设计了QPSI和FT-QPSI溶液。
QPSI采集是一种基于模型的方法，它考虑了刚体的振动并增强振动耐受性而不会损害横向分辨率。它使用与传统相位转移干涉法（PSI）采集完全相同的组件。
QPSI技术消除由小振动引起的相位数据中的噪声和波纹打印，并提供可靠的数据，否则这些数据将与常规的PSI获取一样受到噪声的影响。
QPSI测量不需要深奥的设置或校准，并且周期时间通常与常规PSI测量相同。当由于制造设备而存在振动时，QPSI促进了可靠的高精度测量值。app亚博体育
但是，QPSI采集仅与两个表面腔兼容，这意味着单个干扰模式。
为了解决这个问题，Zygo最近在MST干涉仪上开发了FT-QPSI采集，这是一种测量模式，具有同时进行前后表面测量的能力，以及同步的光学厚度变化测量和同质性测量。
概括
由于精确的性质干涉法，即使是最小的环境振动也可能是跟腱脚跟，并导致扭曲的测量值。
随着干涉法以及其他高度准确的计量解决方案变得越来越流行，现在它被部署在过程中和生产地板上。因此，对于工程师和质量经理来说，振动将仍然是核心问题。
此信息已从Zygo Corporation提供的材料中采购，审查和改编。亚博网站下载
有关此消息来源的更多信息，请访问Zygo Corporation。