系列真空等离子体处理系统(星云和HPT模型)Henniker等离子体特性一个合适的真空泵在等离子体所必需的低压力要求操作。
有很多种真空泵提供给客户,和最优的真空泵可以通过找到与Henniker技术销售部门协商,有好几年的经验在真空等离子体和工艺技术。
本文旨在概述泵的选择范围之间的差异,并提供指导如何确定泵最适合特定的应用程序。
关于真空泵的选择的关键因素是(我)过程兼容性,(ii)泵送速度,(iii)实验室或工作区域环境和成本(iv)。
(我)过程兼容性
图片来源:Henniker等离子体
氧化剂
可以用来执行各种气体等离子体处理这取决于所需的流程和材料处理的结果。标准过程气体氢、氩、氧气和空气,混合或纯形式。
氧气和空气是迄今为止最受欢迎的气体用于表面活化和常规清洗。通常没有兼容性问题需要解决在处理惰性气体或空气。
真空泵与烃油润滑不应该利用由于可燃性危险如果采用氧气在纯粹的形式或作为混合物的一部分氧气的比例大于25%。
是至关重要的,这仍然是相关的,如果氧气百分比通常小于25%但有潜力增加高于这个比例如果条件是错误的。
氧化剂可以使用气体浓度被稀释到无害的压载烃油港转动叶片泵,但这只能执行一个惰性气体(例如,干燥的氮气)。
这下应该执行刚性约束和安全监测设计必须使用,可以停止氧化剂流时,氧化剂流量增加或惰性气体流受到阻碍。
这种技术时,只有适当的氧化剂气体流量低,否则泵不会承受额外的气体流动的稀释剂。
利用氧气体积大于25%时,一个更安全的技术是采用干式真空泵,根本没有润滑剂或PFPE真空泵润滑。PFPE石油化学惰性,不会形成一个对氧气的反应。干式真空泵不包含任何石油和利用旋转密封。
易燃气体
一些易燃气体,例如,氢,炸药在特定浓度的氧化剂和点火的来源。
各类真空泵的泵可以氢,但在所有的应用程序,它应该被稀释比例下的安全水平真空泵之前被压缩在真空泵排气口回到大气压力。
ATEX建议应该在必要时获得,阻火器也必须用作一般系统安全设计的一部分。
腐蚀性气体
某些气体,例如,氨,腐蚀的表面和内部部分常规的真空泵。各类泵耐蚀版本,可以买了,并在必要时应该被选中。
特别还应该考虑消除水分进入,可以加快腐蚀反应,必须采用惰性气体清洗泵冲洗的关闭过程的一部分。
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(2)泵送速度
这个术语暗示,抽速气体的速率是消除由真空泵真空室的。
最终,所有泵实现平等的极限真空度,但是泵的抽速慢将达到这一点比有更高的抽速慢。
因此,整体更有效的处理时间是通过更高的抽速快导致泵停机时间。
一个有效的过程可能不是特别重要,如果等离子体系统被用于实验室样品处理量是相对较小的,例如。
如果在生产环境中使用,需要高吞吐量,水泵停机时间是很重要的,如果等离子体阶段(等离子体)的时间很短,随着泵的停机时间最长的阶段的整体过程。
下面图1演示了泵的曲线hpt - 200台式等离子体系统与各自的名义泵泵送速度3 m3每小时和5米3每小时。
图1所示。泵下曲线的hpt - 200两种不同的泵的速度。图片来源:Henniker等离子体
0.1 mbar是通过5米3在1分钟12秒,每小时泵相比,它需要1分钟30秒3 m3每小时泵实现平等的真空度。
这是一个相对较小的区别,可能不会是一个问题在几个应用程序。应该选择更有效的泵如果整体吞吐量和处理时间是很重要的。
相应的数据更大的hpt - 500台式等离子系统如图2所示。
8米3每小时泵2分钟50秒持续时间达到0.1 mbar相比12米3每小时泵,达到这个级别早一分钟左右。更大的泵将在大多数情况下的理想选择。
图2。泵下曲线的hpt - 500两种不同的泵的速度。图片来源:Henniker等离子体
没有出现在等离子体样品室时上述数据量化。大多数玻璃、聚合物、陶瓷和金属是低孔隙度和不除气的真空室。
plasma-treated样品高孔隙度时,他们可以引入一个强烈气体负载真空泵的出气率高。
这要花很长时间泵消除额外的负载的气体泵停机时间将延长。在这些例子中,推荐使用一个更大的抽速。
(3)实验室或工作区域环境
当评估泵的选择,将使用的设置真空泵也至关重要。
作为一个例子,如果真空泵和等离子体系统将坐落在干净的房间里,一个干燥真空泵将是理想的选择来减少对空气质量的影响引起的油雾从真空泵的排气被释放。
一个合适的真空泵排气过滤器也可以用来解决这个问题,作为标准泵由Henniker等离子体系统。
如果真空泵洁净室位于外部,例如,通过舱壁,然后额外的长度之间的真空线泵和等离子体单元应该评估。
电导限制可以被创建,它可以减少所需的抽速。在必要时,大孔真空线和/或更大的泵应利用。
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(iv)泵的价格
真空泵泵送速度较高的模型有更高的成本。石油烃泵便宜比PFPE泵的抽速相等。
干式真空泵通常更昂贵比PFPE泵。这也是见过的耐腐蚀泵的类型与平等名义抽速。
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最后的话
最合适的真空泵是化学兼容,实现所需的吞吐量的要求,同时也是适当的工作区或实验室环境和内部分配的预算。
这些信息已经采购,审核并改编自Henniker等离子体提供的材料。亚博网站下载
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