在整个PR剥离过程中，必须精确监测脱衣舞化学和剥离PR中的所有组件，以最大程度地减少面板损坏的可能性，并通过增强过程控制来增强过程的产量。
本文旨在强调使用高效和精确的分析工具的过程控制的重要性。
预先存在的技术的概述证明了对该过程的实时高精度分析的重要性。它还强调了ABB的湿过程分析仪（WPA）的相关性和优势，作为一种实时的多流分析技术，用于优化FPD PR剥离过程。
液晶显示面板由两张玻璃片制成，这些玻璃被填充有液晶的5μm的间隙分离出来。当将电流施加到液晶上以操纵光的传递时，该显示器会创建图像。
该技术利用液晶的特性不仅可以保持相同的方向相互关联，而且在应用电压值时会改变方向。
开发液晶显示器（LCD），这是最常见的平板显示屏（FPD）类型，涉及类似于制造半导体过程的过程，除了晶体管是建立在玻璃基板而不是硅晶片上的过程。
制造形成玻璃基板所需阵列的电路是制造液晶显示面板的关键步骤之一。
这是通过在阵列上施加光片剂涂层来实现的。首先暴露组件然后蚀刻。从根本上讲，这是一个光刻的过程。然后，必须从面板上剥离光孔（PR）膜。
PR剥离过程可确保尽可能快地从面板上消除任何不需要的光孔材料层。工艺控制程序应确保光质材料下方的表面材料不受使用的剥离化学品的影响。
因此，严格而连续的过程控制至关重要（见图1），技术应实时提供准确和可靠的结果，而不会对过程产生任何影响。
图1。浴场监控过程。图片来源：ABB测量和分析
浴场监测过程组件图1：
- Clippir+设计为直接夹在循环系统周围，并且是自支撑的。但是，可以提供可选的支架。
- 15.2厘米（5.98英寸）Clippir+周围的最小间隙
- Teflon管用于保护光纤：1.5 m（4.92 ft）长
- 需要2.5厘米（0.98英寸）接入孔
- 标准舱壁配件
- 标准10至100 m（32.80至328.08 ft）放置在PVC管中的光电缆
快速，精确的测量PR剥离化学浓度对于确保改进的过程控制至关重要，从而通过最大程度地减少面板损坏的概率来增加过程产量的增加。
此外，可以使用测量结果来识别脱衣舞娘浴室的终点，并允许化学自动刺激性以增加浴室的使用寿命。
背景技术视野
过去，已经发明了各种技术来测量剥离化学品的浓度。此外，剥离化学制剂的组成已经发生了很大变化，因此在保持剥离效率的同时最大程度地减少了毒性。
常规的分析方法通常是侵入性的，产生化学废物并需要过程循环管修饰。这可能导致剥离解决方案的污染并影响过程完整性。
这里的另一个问题是，大多数技术不支持对剥离化学化学的实时分析。
为此，使用了四个主要技术：滤光光法，滴定，基于紫外线的解决方案和傅立叶变换近红外（FT-NIR）光谱法。
前三种技术在确定广泛的化学成分方面表现出较小的用途，通常需要与工艺循环管和化学物质直接相互作用。
第四技术基于FT-NIR光谱仪，是一种可靠的分析工具，可准确对各种组件进行定量分析。这是一流的湿过程分析仪（WPA）由ABB创建。
WPA避免了对化学试剂的需求，是无损的，并且使高度可重复的分析更快，更可靠。
ABB的湿过程分析仪（WPA）：完整的多流在线监视解决方案
来自ABB的WPA（见图2）是一种非接触化学测量技术，可以实时分析PR剥离过程中的PR，溶剂和胺浓度。它使用最具创新性和专利的Clippir+和近红外光谱法，以消除化学浴污染的风险。
图2。WPA带有专利的Clippir+。图片来源：ABB测量和分析
该专利的采样系统已经设计为直接夹在现有的循环管上，该管道可以快速简单安装而无需任何过程中断（管子修改/切割），并避免需要进行样品提取/调理。
克利皮+（见图3）完全由Teflon™制成，提供最大的耐化学性。多亏了Teflon™设计，克莱皮尔+从该工具排出的化学蒸气中保护。
此外，WPA避免了对不可行的旁路线的需求：通过光纤，红外光被带到测量点，该测量点可以在PFA工艺管道的帮助下进行直接测量。
图3。获得专利的Clippir。图片来源：ABB测量和分析
没有化学接触（请参见图4）或干扰剥离系统，可以在操作浴温的温度下进行测量，从而有助于从样品调理过程中实时过程控制，而不会延迟。不需要试剂或冷却单元。
图4。ABB的Clippir+非接触采样配件。图片来源：ABB测量和分析
此外，WPA支持几种FPD脱衣舞娘化学校准，从而为最终用户提供了更改校准以适应不断发展的过程变化的多功能性。单个WPA可以用于多种工具上，以测量不同的应用或化学。
WPA尝试并测试了FPD行业中使用的所有关键脱剥离化学物质，例如DPS-3300-XC：PR，Amine，NMF，H2O;ETS-100：PR，DMAC，AEE，MMF，NMP，H2O;LGS-200-DIZ：PR，Amine，H2O;N-300：PR，MEA，H2O;Tok-106：PR，MEA，DMSO，H2O。
得益于这样的普遍性，WPA几乎可以轻松地适应任何FPD PR剥离过程监视。
图5中所示的趋势图说明了PR剥离过程中PR和胺浓度的变化，在PR剥离过程中，PR浓度水平连续进行了新鲜的脱衣舞化学剂量。
图5。表显示胺与PR趋势。该图显示了PR剥离过程趋势图。图片来源：ABB测量和分析
传奇：红色：胺；蓝色：PR；X尺度：在几天内；Y-Scales：左（胺为wt％），右（PR的ABS）。
WPA的多流分析函数使一个分析仪可以监视多达八个不同的化学浴缸（见图6）。这是一个高度经济的解决方案，比单个工具中具有多个分析仪的配置。
用户可以通过不到30秒的测量时间实时监控功能，通过化学自动尖峰实现准确的托架警报和浴寿命延长。
图6。每个WPA只有一个湿工艺分析仪（WPA），用于多种工具和8个浴缸。图片来源：ABB测量和分析
简而言之，WPA通过提高较高的沐浴寿命并最大程度地减少化学消耗来确保节省，同时确保准确的多流化学分析。此外，安装（带有专利的非接触式采样配件Clippir+）不需要任何停机时间和离线实验室分析，这使WPA成为全面的过程控制工具。
结论
随着平板显示器（FPD）的制造更加先进和昂贵，必须使用最有效，最可靠的技术来实施经济生产解决方案。
最佳的实时过程控制在实现性能地标方面具有关键作用，每个过程优化增加了更高的利润。
为了实现这一目标，工程师依靠最先进的分析工具来确保理想的质量控制，这导致了优化的过程产量。PR剥离过程是确保FPD制造中高质量生产标准的关键步骤。
已建立ABB的实施湿过程分析仪（WPA）系统到当前的剥离工艺工具，通过快速准确地监测剥离化学浓度来确保改进的过程控制，从而大大减少了面板的损害风险。
由于其在线多流分析能力，ABB的WPA是监测FPD行业的PR剥离过程的市场领导者，并在中国，台湾和韩国拥有巨大的安装基础。
该分析仪为FPD制造商提供了快速，可靠和有效的实时分析解决方案。非侵入性方法可以实现准确的数据驱动过程控制，而无需与过程本身互动。
ABB在北亚拥有大部分FPD的安装基地，自2003年以来，它被认为是亚洲展示制造中PR去除剂的先驱。简而言之，ABB WPA对于任何FDP制造商来说都是必不可少的分析工具。
此信息已从ABB测量和分析提供的材料中采购，审查和调整。亚博网站下载
有关此消息来源的更多信息，请访问ABB测量和分析。