在安静的建筑物上使用安静岛屿的好处

在这次采访中，TMC的产品经理Wes Wigglesworth与Azom谈论使用安静岛屿在安静的建筑物上的好处。

纳米制造，半导体制造（Fab）和研究设施通常将洁净室与凸起的假楼层，或凸起的访问楼层（RAF） - 您能否告诉我们一些主要优点和挑战，这些主要优势和挑战在诸如这些之类的楼层

RAF在许多方面非常普遍，伟大，特别是在洁净室中管理气流并允许公用事业和人类分开。这些楼层旨在支持典型的脚交通和一些轻量级仪器和工作站。然而，凸起的地板不是旨在支持在整个这样的设施中安装的重和/或振动敏感的工具。RAF设计的一个很好的特征是瓦片可以拆下并用特定于工具的支持基座替换。

什么是一个安静的岛屿^®为什么这种创新方法在这些设施中如此有效？

一个安静的岛屿基本上是一个岛屿，一个岛，更换凸起的进入楼层，旨在支持敏感仪器或制造工具，例如透射电子显微镜或半导体缺陷检查工具。其目的是将仪器与周围环境的孤立和相对嘈杂的环境隔离。

一个安静的岛屿

图像信用：TMC振动控制

一个安静的岛屿由一个稳定的钢制层压板平台顶部组成，支撑柱通常由主动振动隔离，钢立管组成，以匹配RAF高度，桥板和其他硬件，以将系统正常固定到混凝土“华夫饼”地板上。建立了哪个raf。计划在安装任何大型，重和/或振动敏感仪器（任何具有振动规格的仪器时的仪器）时，设施经理应考虑一个安静的岛屿。用stacis.^®，安静的岛屿为仪器提供新的楼层，满足该工具的振动要求。

与替代方法相比，使用安静岛的一些优点是什么？

易于安装和调整的组合，交付成本和所有权，环境影响，定制刀具足迹的能力，模块化，与其周围环境的兼容性以及支持的工具本身，以及与斯塔基斯结合时，尤其如此能够积极衰减1-4Hz范围内的建筑地板振动;考虑到所有这一切时，没有其他单一的替代方法接近。此外，在安静的岛屿方法周围规划设施设计是更具成本效益的，而不是设计一个安静的建筑物，即整个设施，振动极低。安静的岛是特定于工具的支持，需要安装在低振动地板上的工具。

您能详细说明在安静的建筑物上使用安静岛屿的好处吗？

成本和灵活性。Fabs和大多数大型研究设施大厦数百甚至数千名仪器，具有不同程度的敏感性和环境要求。例如，许多缺陷检测工具和eBeam光刻工具需要VC-E（3.12um / s rms）振动环境，甚至更低。先进的传感器和高分辨率频谱分析仪甚至可以测量振动。对于许多对振动不敏感的仪器，或者要求不那么严格的要求，根据最敏感的工具的需求设计整个设施并没有意义 - 这可能会非常昂贵，对环境影响非常雄厚。特别是当安静的岛屿解决方案可用于使用点时，换句话说仅适用于需要它的仪器。当你只需要一个冰镇啤酒时，为什么冻结你的整个房子？

这些基座可以设计成适合工具占地面积而无需占用额外的占地面积，可以安装在最初未策划精密仪器的空间中，并且如果仪器移动或更换，则可以重复使用或重新使用。我应该补充一点，我们经常听到在最初设计的建筑物中工作的人们听到最初的振动规格，后来超过了设施成熟，增加了额外的机器，并且建筑物外的活动因来自汽车的交通而增加，火车等等，虽然仍然可以安装使用点的解决方案，但这种无功方法更具破坏性，而且昂贵的是，而不是规划前方，特别是对于在繁忙，人口稠密的设施中的高使用仪器。

您能否告诉我们在安静岛上使用的支持元件和核心技术 - “Stacis III主动振动消除系统”？

Stacis在我们的行业是独一无二的。在Stacis的核心是一个有源反馈控制回路，包括非常低频传感器测量楼层振动，复杂的信号处理器和压电致动器，响应于该信号的具有相等且相反的力，以取消实际振动 -时间。一种压电装置，通常用于精密纳米定位系统，以施加的电压成比例地扩展和收缩。Stacis使用相同的设备取消低频，低振幅构建振动。

在非常短的凸起地板方面，如何使用STACIS IIIC隔离器？

大多数罗伯斯是18“，24英寸”甚至更高。当设施的凸起地板小于15英寸“高”时，紧凑的Stacis iiic非常方便。

在安静的岛屿的发展中，你想出的一些挑战是什么，这些挑战是如何克服的？

Stacis最初在25年前开发。测量和取消低频，紧凑且易于安装的包装中的低振幅振动非常具有挑战性。在保持稳定控制信号的同时优化宽带响应的增益可能是最具挑战性的方面。这是我们在很长一段时间内找到的东西，而且以前的安装。

安静的岛屿如何帮助可持续性？

我们越来越多地了解碳足迹，绿色建筑和可持续性。安静岛屿的替代方案是混凝土基座和大型混凝土板和螺丝。此外，在设计安静的建筑物时，振动的小改善需要增加混凝土和钢。安静的岛屿 - 不安静的建筑方法最终使用不可估量的混凝土，这是温室气体的重要贡献者，占我们环境中所有二氧化碳排放的大约8％的贡献。

读者在哪里可以找到更多信息？

振动环境成熟

安静的岛屿在研究设施

安静的岛屿 - 更绿色的替代品

Stacis安静群岛

Stacis紧凑宁静的岛屿

关于WES Wigglesworth.

WES Wigglesworth自1997年以来一直在TMC，目前是TMC旗舰积极振动和噪声消除系统的产品经理，包括Stacis，Stacis IX，Mag-Netx和新的盗版。

WES先前在科技行业的应用工程，销售工程和OEM账户管理中持有职位，超过24年。

他在MA的塔夫斯大学举办了一家学士学位，哈姆特大学。