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近年来,STEM-in-SEM(行业首字母缩写为扫描透射电子显微镜在一个SEM)已经增加的流行为许多专家。由于其成本效益、易用性和高分辨率，这项技术吸引了包括生物学家、聚合物科学家和材料科学家在内的众多科学专业人士的注意。亚博网站下载
STEM-IN-SEM特别适合于研究薄膜（100-200nm）样品的内部结构，除了亚微米到纳米颗粒的形状和尺寸之外。yabo214部分由于光束样式相互作用，最终分辨率存在局限性，可以通过批量样本的标准SEM成像模式实现。
样品非常薄，与STEM-in-SEM的相互作用体积特别小。因此，这意味着分辨率更接近于样品出口表面电子束的直径，因此允许高分辨率;亚纳米分辨率很容易通过使用STEM与JEOL的先进FE sem。
具有7.4 A晶格间距的浮石沸石的STEM-in-SEM图像。图片来源:JEOL USA, Inc。
通常，晶晶的方法被称为“低压杆”技术。术语“低电压”的使用是指20-30kV的典型操作能量，其在SEM中使用，而不是更常规的100-300kV，其与传统的专用杆或TEM一起使用。
低压STEM有其优势，尽管它不可否认不能与专用的STEM或TEM的结果相竞争。特别是对于低原子数组分或低密度样品，使用30 kV或更低的加速电压可以增强图像对比度。这种在较低电压下增强的图像对比度意味着STEM-in-SEM是在表征生物样品时的理想方法。
STEM-in-SEM的一些替代优势包括降低潜在的样品损坏风险、减少充电和减少污染。
传统上，有两种配置用于STEM-in- sem方法:第一种是一个STEM转换器，第二种是一个专用的STEM检测器。该STEM转换器提供了一种简单且经济有效的方法来获取明亮场STEM图像;它适合在一个扫描电子显微镜，就像一个标准的样本持有人将不需要一个额外的探测器或硬件。
一个STEM转换器有一个孔穿过它，并容纳一个直径为3mm的样品(大约是TEM/STEM支架的典型尺寸)。光束扫描样品，透射电子传输到样品下方的抛光镜面。然后这些电子被转换成次级电子，它们自己被室内的次级电子探测器检测到。
图片来源:JEOL USA, Inc。
它很容易将STEM探测器与SEM连接起来，然后可以使用与常规SEM操作相同的光学系统对安装在网格上的超薄薄片或纳米级颗粒进行监测。yabo214更多的灵活性是由专用干探测器，例如亮场和暗场杆状成像或利用多电网支架以获得更高的吞吐量。
图片来源:JEOL USA, Inc。
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