相干扫描干涉仪是测量精细结构表面形貌的理想设备。这些多功能的仪器适用于生产和开发环境，以及在实验室和研究设置。
基本的测量技术适用于几乎所有类型的材料。亚博网站下载它是非接触的，能够提供纳米范围内高度分辨率的三维表面地图和线轮廓。
TopMap系列系统包括大面积测量以及具有高横向分辨率的详细调查；例如，在使用光学元件、晶圆表面特性或摩擦学应用时。
图片来源:Polytec
明确的高度确定技术使用的干涉效应发生在被调查物体反射的光与参考信号反射的光叠加时。
分束器用于将准直（平行或拉直）光源导入测量和参考光束。
然后，测量光束照射被调查对象，而参考光束照射镜子。从物体和镜子反射的光在聚焦到相机之前将在分束器处重新组合。
摄像机阵列中的每个像素都充当虚拟探头，只有在发生干扰时才会通电。与聚焦级的读出同步的该时间条件将确定所有像素相对于彼此的高度位置的表示。
如果需要较高的横向分辨率，可能更适合使用基于显微镜的系统，其中光学结构和参考臂集成到透镜中。
TopMap Micro.View/Micro.View+：整个测量范围内的高分辨率
Polytec提供了TopMap系列白光干涉仪的历史
这些系统已经在许多应用中证明了自己;例如，密封表面的平整度测量，翘曲检测，隔膜曲率的确定，或泵和高压部件的形状偏差检测。
对结构细节测量(如粗糙度)的需求显著增加。也增加了机动附件的使用，包括编码炮塔和定位级，如倾斜/倾斜级。
这些不断增长的需求和行业需求导致了TopMap系列的扩展，包括基于显微镜的模型，Micro。视图和Micro.View +。两者在x和y方向上都提供了相当多的数据点，同时利用Polytec连续扫描技术在整个100毫米的垂直测量范围内进行测量，而不仅仅是几微米。
该方法允许获得实质上更详细的测量，例如，检测晶圆表面上的微结构，分析印刷过程中发现的微结构，或确定光学元件中的表面粗糙度。
除了高度测量外，物体的颜色信息也可以被纳入，以帮助在地形不充分时区分表面异常，简化缺陷检测，同时增强报告能力。
此外,微。视图和微观。视图+employed in harsh production environments may be enabled with ECT (environmental compensation technology) to compensate for environmental disturbances.
两种模式和一系列可能性
紧凑，桌面版本-TopMap Micro.View–旨在提供入门级解决方案，可作为独立仪器在任何地方快速、方便地使用，例如在研究机构或小型测试实验室。
100mm Z级是机动的，而目标炮塔和XY级可以配置为手动或机动。
较大的格式和模块化的TopMap Micro。视图+offers flexibility and performance advancements for a diverse set of applications. This instrument offers motorized x, y, z axes with a 200 × 200 × 100 mm3.旅行范围。还提供可选的电动倾翻/倾斜台。
当配备了所有的机动转换阶段，测量可以根据特定的“食谱”自动运行。
由于采用模块化的龙门式设计，使用隔水管块，传感器头可以升高以适应较高的部件，此外，如果需要，传感器头也可以直接集成到生产线中。
Micro.View和Micro.View+都具有自动对焦和自动对焦跟踪器功能，以确保感兴趣的表面始终可见。焦点跟踪器的工作方式与面部识别技术类似；系统持续补偿零件运动，曲面保持聚焦。
硅片上的蚀刻结构
印刷媒体的质感
衍射光学截面
新的显微镜系统具有高横向分辨率，整个测量范围可达100 mm。图片来源：Polytec
硬件和软件的单一来源
TMS软件是专门为使用Polytec地形测量系统．除了为一个完整的交钥匙解决方案获取和分析测量数据外，还包括一系列可用于处理任何3研发部政党评估软件包。
TMS软件根据ISO标准提供了各种快速评估测量结果的选项。
“测量方法”可用，使日常任务更简单。这些配方为数据采集提供了用户可定义的设置，如相机参数、测量位置和照明设置，以及预设的评估参数，包括后处理步骤、导出或可视化选项。
该功能有效地将复杂的表面分析和特殊测量功能转化为简单的一键式解决方案，节省了生产环境中的时间，并最大限度地减少了操作人员的影响。
可提供可行性研究和项目支持，帮助用户优化和选择合适的系统和配件。
TopMap Micro.View（左）和Micro.View+（右）
高横向分辨率的详细测量，例如检测晶圆表面的微结构(a)，分析打印过程中的液滴分布(b)或确定光学元件的表面粗糙度(c)
此信息已从Polytec提供的材料中获取、审查和改编。亚博网站下载
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