SEM中微量分析的最追捧之一是扩展探头电流的能力，同时保留小点尺寸和小容量的高分辨率。
jeol.FE SEMS.拥有专利孔径角度控制透镜（ACL）的独特特征。该镜片本发明地优化了在小探针电流下的高分辨率成像和高探针电流的高空间分辨率X射线分析，从一个到另一个的平滑变化。这对于快速分析和优异的图像质量至关重要，尤其适用于低kV微基分析。
ACL通过研究每种像差（球面，色度和衍射限制）对光斑尺寸的影响，本能地优化收敛角。当SEM针对最小的光斑尺寸（最大收敛角）优化时，可以有光束拖尾从“不在点”的区域中产生X射线。对于低光束电流功能，这是无关紧要的。
最大的分析数据从最小的收敛角收集。这样，当ACL被优化以进行图像分辨率时，随后的高电流图像（大收敛角）具有相当“朦胧的”背景，但展示了良好的分辨率。
图1。高斯平面上的光束电流密度。用于（a）图像分辨率的高光束电流的ACL优化，（b）分析分辨率。Nanogold图像和EDS分析在5 kV，20kx和73 Na完成。图片信用：JEOL USA，Inc。
尽管如此，最终的分辨率略有下降ACL.针对分析工作进行了优化。然而，分析信号不受光束拖尾的影响，导致分析信号临床化较少（图1）。ACL的自动优化在各种加速电压和探针电流下保持高分辨率成像，在几个PA到数百NA之间的范围之间。
图1。斑点尺寸与分析WD的探针电流。资料来源：JEOL USA，Inc。
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15 kV. |
5 kV. |
| 1 na |
1.4 nm. |
1.5 nm. |
| 5 NA. |
1.9 nm. |
2.0 nm. |
| 10天 |
2.3 nm. |
2.5 nm. |
| 50 na |
2.8 nm. |
4.1 nm. |
| 100 NA. |
3.7 nm. |
6.0 nm. |
图1显示了与分析WD的探头电流对比的分辨率为15 kV和5 kV。在大探针电流下碳上的碳上的强烈放大图像如图2所示。图像拍摄于15 kV，分析Wd，以及1na（左）和100na（右）的光束电流。
图2。在15 kV和分析WD的碳图像上的金色，具有1个Na梁电流（左）和100梁电流（右）。图片信用：JEOL USA，Inc。
图3。ITO上的镍柱的EDS地图，具有SUB-25 NM分辨率。在160秒内，地图采用6 kV，4A的光束电流。图片信用：JEOL USA，Inc。
ACL函数在高光束电流下的应用允许在采用低kVs的高空间分辨率下检索快速EDS地图。这可以在图3中可以看出，使用JEOL集成EDS检测器。这是ITO上的镍柱的EDS地图，具有Sub-25nm分辨率。地图在6 kV中累积，在不到三分钟内使用4纳的光束电流。
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