50多年前，第一个商用SEM被揭开。然而，到这一天，没有国际公认的标准确定SEM决议。此外，为了更加混淆，每个SEM制造商都取决于自己的样本和建立分辨率的方法。
确定分辨率的两个最受欢迎的方式是：
- 测量两个相邻物体之间的分离
- 采集信号强度变化的线廓轮廓横跨尖锐边缘
传统上，jeol应用了一个样本蒸发的小金颗粒yabo214在碳基材上（图1）。利用这种样品，通过计算两个相邻的金颗粒之间的分离，或者通过检查金颗粒边缘的信号强度的变化的线轮廓来建立分辨率。yabo214
图1。碳测试样品上的金的SEM图像。图片信用：JEOL USA，Inc。
这些方法中的每一种都具有主观性。根据个人解释或者每个人如何观察粒子的边缘，确定粒子边缘的构成与人员不同。在进行线轮廓技术时，信号转变的距离被认为与探针直径有关。
JEOL使用传统的协议和在84和第16百分位数的过渡（1 sigma值）的措施。对于所有厂商宣布，所有制造商和65日/ 35百分位数的所有制造商和价值观都不是正确的。如表1中所示，即使在图像中的相同边缘轮廓也会导致分辨率的报告值较低。显然，在不同的制造商之间比较解决方案规格并不容易。
表格1。示例显示使用三个不同百分比的相同边缘轮廓确定的分辨率以计算光束直径。资料来源：JEOL USA，Inc。
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84％ |
75％ |
65％ |
| 光束直径（分辨率） |
1.4 nm. |
1.1 nm. |
0.6 nm. |
额外的复杂层随着现代的数字图像采集附着SEMS.。最终图像像素分辨率影响可以解决的最小特征，这意味着分辨率测量与像素大小紧密相关。关于以100,000次捕获的图像，具有1.28 um的视野：如果图像像素的分辨率为1280×960，则拍摄1nm /像素的像素长度。为了识别探针直径为3nm将需要在仅3个像素中看到的图像信息。然而，捕获具有2560×1920的增强像素密度的相同图像意味着可以在6个像素上看到等效信息。
图2。SEM分辨率的线路配置方法。图片信用：JEOL USA，Inc。
由于实际图像采集和有效的测量程序可以在各种显微镜供应商之间大致不同，在有关和比较分辨率编号时，请记住这一点至关重要。如何进行测量以及选择的样本和参数可以对报告的分辨率的数量产生深远的影响。
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