一系列信号产生样本时受到的电子束扫描电子显微镜。x射线是一个信号,可以提供重要的洞察物质的化学成分。
x射线信号采集由背景x射线辐射更至关重要的是,不同的能量的x射线,表明样本中发现的元素。因此,最受欢迎的探测器被添加到扫描电子显微镜(SEM)是一个能量色散x射线探测器(EDS)。
这是使用不仅确定样品中存在的元素,但通常可以提供关于这些元素的空间分布和数量的信息在非常小的体积。
高光谱成像技术是一种功能在大多数EDS系统今天。在地图上的每个像素的数据集,EDS谱是获取和存储为大数据立方体(图1)。
数据集可以处理在任何时间。从模型中提取光谱选择区域内的地图,地图和新元素可以产生。EDS系统JEOL可以构造定量地图(QMap),连同超光谱成像。
QMap可以信息如果在样本特征峰发生重叠或高背景。定量分析是在每一个点进行QMap地图数据集。
背景是减去在这个过程中,在大多数情况下,它可以有效地deconvolute重叠的x射线峰值。选择普通峰值与EDS系统下面的表1中列出。
图1所示。数据立方体与EDS光谱成像。图片来源:JEOL美国公司。
表1。常见的x射线峰值与EDS重叠。来源:JEOL美国公司。
元素
x射线线 |
干扰 |
| 年代Kα& Kβ |
莫Lα,Pb Mα |
| Ti Kα |
英航Lα |
| Mn Kβ |
菲Kα |
| 作为Kα |
Pb Lα |
| W Mα和Mβ |
如果Kα和Kβ |
| Zr Lα |
P Kα |
为了演示QMap高光谱成像的优势,比如说陶瓷汽车刹车片。这些垫是一个复杂的众多组件的融合。生产这些产品时的一个关键挑战是管理不同成分的分布和数量。
SEM可以执行一个重要的角色在这个分布分析,以及检查磨损或失败。图2说明了EDS和光谱从地图数据集。很明显,很多元素都出现在EDS和频谱。在这个例子中钛和钡都确定组件。
的x射线强度的地图为这些组件似乎是相同的,因为这些元素的x射线线重叠在一个EDS系统。即与钡钛元素的空间分布并不是解决(图3)。
图2。陶瓷刹车片,从EDS高光谱和光谱成像数据集。图片来源:JEOL美国公司。
图3。陶瓷刹车片,x射线地图(钡和钛x射线地图和整体)。图片来源:JEOL美国公司。
通过处理数据产生QMap,钛和钡x射线线成功deconvoluted提供一个清晰的视图的这些组件的空间分布刹车片(图4)。
图4。陶瓷刹车片显示钡和钛x射线地图QMap之前和之后。图片来源:JEOL美国公司。
这些信息已经采购,审核并改编自JEOL美国提供的材料,公司。亚博网站下载
在这个来源的更多信息,请访问JEOL美国公司。