用宽离子束制备SEM截面

使用扫描电镜对试样的横截面观察可以产生对研究和开发以及失效分析至关重要的详细信息。一般来说,仅靠表面观察无法提供有关纤维材料、颗粒材料、层状材料和粉末的横截面结构的信息。亚博网站下载熟练的准备高度抛光的横截面这些材料需要一个高度熟练的手,使过程艺术,因为它是一门科学。亚博网站下载亚博老虎机网登录

通常,使用机械装置(切割,机械抛光或切片体)进行横截面的制备。最初,样品将放置在支架或装置中,然后抛光以获得平坦的横截面。在某些情况下,进行染色以强调样品的特定组分。

这些方法可以是需要大量技能的冗长程序,并且可以将伪影引入软材料,使空隙周围的材料变形,或在复合样品中压缩软和硬质材料层。亚博网站下载机械抛光可以忽略诸如发际线裂缝的外观等关键细节,并且对水溶性相也可能有问题。

在其他地方,当横截面的精确定位是必要的聚焦离子束(FIB)系统使用,例如在薄膜或微面积样品制备的情况下。然而,随后的横截面的尺寸仅限于仅10秒或大多数100s或多毫秒的微米,并且梁中的镓离子的重量可以损害样品的表面。

JEOL的精密氩离子束截面抛光机(CP)简化了样品的制备,并使其可以制备没有失真和伪影的真实样品截面(图1)。

JEOL截面抛光机。离子束照射从掩模突出的区域,并产生原始和抛光的横截面。

图1所示。JEOL截面抛光机。离子束照射从面具突出的区域,创造了一个原始和抛光的截面。

使用宽氩离子束可以消除常规抛光所带来的问题,这也使得高精度制备更大的样品成为可能。

此外,该仪器可以从室温一直操作到低温,精确温度控制至-120o这允许不同的聚合物和低温共晶的附加功能。此外,该仪器还具有在惰性环境下离子研磨和转移样品的能力,使之能够制备大气敏感样品,如锂电池。

CP仪由样品室、样品定位CCD摄像机、涡轮泵真空系统、真空系统和氩离子束触摸屏控制组成。为了生成横截面,将样品放置在支架中,样品的横截面区域由掩蔽板指定,并小心放置以使用CCD进行抛光。

该仪器在定时器上设置,使操作能够在整个抛光过程中进行无人看管。CP对其他制备技术的优点包括:

  • 抛光表面的最小菌株和变形,允许清晰易于观察晶粒对比度(通道对比)。当正在进行EBSD分析时,该技术特别有益。
  • 柔软和硬质材料复合材料的高品质横截面
  • 与FIB方法相比,该方法获得了大的横截面区域,可以达到8mm宽的切割
  • 与机械抛光相比,在抛光表面中没有颗粒嵌入
  • 简化操作

应用的实例包括薄膜,半导体材料,金属,纤维,聚合物,涂料和纸,复合材料,电池材料等等。亚博网站下载突袭的示例的集合如图2所示。2。

用JEOL CP获得的截面SEM图像。

图2。用JEOL CP获得的截面SEM图像。

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    JEOL美国公司. .(2020年9月17日)。用宽离子束制备SEM截面。AZoM。于2021年7月31日从//www.washintong.com/article.aspx?ArticleID=19594检索。

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    JEOL USA,INC。“使用宽离子梁进行SEM横截面准备”。AZoM。//www.washintong.com/article.aspx?articled=19594。(访问于2021年7月31日)。

  • 哈佛大学

    JEOL美国公司. .2020.用宽离子束制备SEM截面。Azom,于2021年7月31日查看,//www.washintong.com/article.aspx?articled=19594。

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