纳米压印光刻如何应用于光学

纳米压印光刻技术[1][2][3]是一种经过验证的生产技术，可用于多种应用，从生产微透镜[4]到用于创建垂直腔表面发射激光器(VCSELs)[5]。在大多数这些应用中，纳米压印是在晶圆尺度上进行的。

对于更大的区域，辊基纳米压印在[6]上很早就被推荐了。基于精密卷绕对位nanoimprint[7][8][9]已经受到了一些发展。然而，在使用刚性基材的滚到板的无碳材料的情况下，得到的改进要少得多。

为了解决在刚性和不透明基材上大面积高质量纳米压印的局限性，Stensborg开发了基于压印和光固化的卷到板纳米压印工具。它包括一个透明圆筒和一个衬底平移台，并建立在斯坦斯堡的[10]专利概念上。

半透明压印模板附着在半透明压印滚筒上，该半透明压印滚筒包含位于可旋转滚筒内的光学引擎。压印夹是压印模板与承印材料相遇的地方。当衬底材料通过压印接触区时，在该接触区使用聚焦光束在衬底上固化可固化材料。

辊到板的纳米压印工具目前生产和安装，管理底板厚度达10毫米，尺寸达30 × 60厘米²．压印速度每分钟可调1 - 10米。喷墨压印设备和槽模涂布是可选择的，可app亚博体育安装包括大范围内的在线涂布能力。

斯坦斯堡已经进行了初步的印迹测试，这些调查包括以下步骤:

• 将涂底漆的玻璃基板固定在基板上
• 在玻璃基板上贴有聚合物箔
• 光固化压印材料应用槽模涂层

具有大尺寸范围的特征被成功地复制了。显微光学测试结构的线扫描如图1所示，测试全息图的线扫描如图2所示。

图1所示。一种辊板印迹显微光学测试结构的线扫描(轮廓仪)，特征高度约45µm，周期约100µm。图片来源:Stensborg

图2。一种辊印全息测试结构的直线扫描(AFM)，特征高度约350 nm，周期约880 nm。图片来源:Stensborg

这些特征的周期随高度的变化而不同，相差数量级。图3显示了纳米印迹全息图结构。图4显示了整个纳米印迹过程中该器件的图像，包括印迹模板。

图3。全息图测试图的光学显微图，如图2所示。图片来源:Profaktor

图4。在印版安装在圆筒上时压印圆筒的照片。图片来源:Profaktor

由于所评估的材料组合，模板-印迹分离是非常有效的。

专利光固化树脂材料被用于制造纳米压印板X29印记resin来自斯坦斯堡的人被用于纳米印迹。

除了大面积光固化材料涂层的进一步结果之外，Stensborg还打算发表更多具有更广泛微和纳米尺度特性的印迹结果。亚博网站下载

致谢

由L. Yde原创的材料制作亚博网站下载¹, l . Lindvold¹, j . Stensborg¹, t . Voglhuber², h .盟ßerhuber²,美国Wogerer², t . Fischinger²先生,但是²哈克(W. Hackl)^3.从Stensborg¹, PROFACTOR GmbH是一家²和Forster Verkehr- und Werbetechnik GmbH^3.．

参考资料及进一步阅读

［1］周世勇，等．
［2］王志强，王志强，等。中国机械工程，2014,27 (02):368 - 372．
［3］中国机械工程，2018,27 (05):458．
［4］七边形(4.4.2016访问)
[5] Verschuuren, M.A，在NNT2011上发表
［6］等。中国机械工程学会b16 (1998) 3926．
［7］这些，m.w.，等。Microel Eng 123 (2014．
［8］安淑慧，等，先进材料20 (2008)2044亚博网站下载．
［9］约翰，J.，等，纳米技术24 (2013)505307．
[10]2 .林德波，史丹堡，林德波，林德波．林德波德，斯坦斯堡，GB1814552。

这些信息已经从斯坦斯堡提供的材料中获取、审查和改编。亚博网站下载

有关此来源的更多信息，请访问Stensborg。