蓝宝石视口在uhv和hv中的作用

在一些超高真空和高真空(HV/UHV)过程中，必须观察这些过程现场．但是一个难点是光学部件应该具有进入气密密封室但不影响真空质量的能力。

工程已被用于创建特定的法兰视口和Windows，该窗口将能够直接或在内部镜像阵列的帮助下观察到真空过程。

这种方法消除了压力损失的风险。垫片和法兰所用材料的质量主要决定其机械亚博网站下载性能。

可靠的不锈钢合金，如304型通常用于视口凸缘，而高纯度铜（Cu）被认为是UHV条件下的完美垫片材料。但是，各种材料可用于生产透明窗格，从标准硼硅酸盐玻璃到合亚博网站下载成蓝宝石。

这篇文章全面地描述了为什么以及在什么情况下蓝宝石窗口可用于HV / UHV应用中。

概述蓝宝石观点

蓝宝石是工程应用中最艰难的光学材料之一。亚博网站下载它是透明的单晶氧化铝（Al₂O_3.）与在HV / UHV加工中使用的几乎所有其他窗口材料相比时，表现出优异的热机械性能。

弯曲强度高于400MPa和约2000MPa的抗压强度是蓝宝石的标准机械性能。

众所周知，蓝宝石观点是众所周知的难以努力的，利用材料的特殊杨氏模量（〜350 GPA），这有助于确保窗格的应力比率在大气的数量级的压力下进行操作。

蓝宝石视口也适用于实现高温真空处理应用，如物理气相沉积(PVD)。它已经表明，窗格可以持续容忍恒定的操作温度在400°C(752°C)地区。然而，这种限制是对内室结构的限制。只有蓝宝石能承受高达1800°C(3272°F)的温度。

尽管如此，仍有许多可选择的视口材料，可以在类似加压和与热加工相关的应用中工作。亚博网站下载

蓝宝石的光学透射率高于其他窗户类型，这一特点被认为是它的主要优势。

蓝宝石视孔的光波长在150到5500 nm之间。它们是高度透明的，覆盖了大量的可见和紫外光谱，并特别扩展到近红外(IR)范围。在不需要额外的表面涂层的情况下，保证了对HV/UHV加工条件的最佳观察。

蓝宝石独特的机械性能是其透光率如此卓越的主要原因，因为不合格的表面光洁度会极大地影响波长的透射，尤其是短波辐射。

蓝宝石被认为是地球上第三硬的工程材料，具有非凡的耐磨性和划痕性。由于其硬度，蓝宝石视口可以在苛刻的加工设置下长期保持其安装时的传输特性。

来自Allectra的蓝宝石视口

Allectra专注于设计和提供这些HV / UHV组件。蓝宝石视窗来自Allectra的直径可提供15至49毫米，从而向热处理室提供狭窄和宽阔的视野。Allectra的可用蓝宝石视口中的每一个也可以为最广泛和当前可用的传输范围进行Duv-Rated。

这些信息来源于Allectra有限公司提供的资料。亚博网站下载

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